Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Главная

Новые поступления

Описание

Базы данных

Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий

Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН

Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )

Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)

Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)

Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН

Публикации об УрО РАН

Изобретения уральских ученых

Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)

Нанотехнологии

Демидовские премии

Гибель династии Романовых

История Урала

Личная библиотека С. В. Вонсовского

Книжная коллекция Шубиных

Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН

Труды Института истории и археологии УрО РАН

Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН

Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН

Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН

Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН

Расплавы

Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН

Публикации Черешнева В.А.

Публикации Чарушина В.Н.

Каталог библиотеки ИГД УрО РАН

Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН

Электронная энциклопедия «Дискурсология»

Библиометрия

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

Инвентарный номер: нет.

   Н 25


    Наноструктурные и морфологические свойства пленок srtio3 / А. А. Агасиев, Ч. Г. Ахундов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 36-38 : рис. - Библиогр. : с.38 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ
Аннотация: Магнетpонным pаспылением получены пленки титана-та стpонция. Pассмотpена моpфология и стpуктуpа пленок. Определены сpедние pазмеpы (-1...2 нм) псевдозерен, котоpые хорошо согласуются с размерами областей когерентного рассеяния. Оценены межатомные расстояния Ti-O, Sr-O, O-O в неупорядоченных и поликристаллических слоях. С помощью атомно-силового и сканирующего туннельного микроскопов исследована поверхность пленки

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   О-62


    Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах / Д. Г. Громов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 27-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ZNO -- СОПРОТИВЛЕНИЕ УДЕЛЬНОЕ -- ПЛЕНКА ТОНКАЯ -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МЭМС-УСТРОЙСТВА
Аннотация: Представлены результаты исследований тонких пленок ZnO для использования в составе интегральных МЭМС-устройствах. Пленки ZnO:Ga получены в процессе магнетронного распыления соответствующей мишени в среде аргона без нагрева подложки. Показано, что удельное сопротивление и стабильность во времени пленок ZnO:Ga существенно зависит от их толщины, воздействия солнечного излучения, внешней окружающей среды. Комплекс доведенных исследований указывает на то, что ужиной нестабильности тонких пленок ZnO являются процессы генерации и залечивания кислородных вакансий, создающие донорные уровни в запрещенной зоне ZnO. Для формирования пленок ZnO с пьезоэлектрическими свойствами требуется осаждение в среде кислорода или последующий отжиг в аналогичной среде, а повышения стабильности пленок во времени можно достигнуть с помощью покрытия, защищающего от воздействия внешней газовой среды

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   С 87


    Структура и СВЧ магнитная проницаемость тонких пленок кобальта / С. С. Маклаков, С. А. Маклаков, И. А. Рыжиков, К. Н. Розанов, А. В. Осипов, А. С. Набоко, В. А. Амеличев, С. В. Куликов // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 5-6. - С. 65-69 : рис., табл. - Библиогр.: с. 69 (29 назв.) . - ISSN 1992-7223

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ТЕКСТУРА КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКАЯ -- ПРОНИЦАЕМОСТЬ МАГНИТНАЯ -- КОБАЛЬТ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ
Аннотация: Обнаружено увеличение частоты ферромагнитного резонанса от 3 до 5.5 ГГц в тонких пленках Co при увеличении размера кристаллитов от 6 до 70 нм. Изменение структуры достигается увеличением скорости нанесения металла от 4.2 до 7.1 нм/мин при магнетронном распылении на постоянном токе. Пленки Со обладают одноосной кристаллографической текстурой. Положение оси текстуры меняется в зависимости от параметров нанесения Со, что влияет на планарную магнитную анизотропию. Предложена модель, описывающая обнаруженные изменения

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Н 61


    Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники / А. М. Ефременко, А. В. Корляков, О. Н. Асташенкова, А. Н. Кривошеева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30 : рис., табл. - Библиогр.: с. 30 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕКСТУРА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- ПЛЕНКИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ
Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении

Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)