Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Инвентарный номер: нет.

   П 76


    Применение нанокристаллического бемита в технологии подложек микросхем / Е. С. Лукин, Ю. А. Мазалов, Н. А. Попова, А. В. Федоров // Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 63-66 : рис. - Библиогр. : с. 66 (6 назв.) . - ISSN 1816-4498

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БЕМИТ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ -- ПОДЛОЖКИ МИКРОСХЕМ -- СВОЙСТВА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ
Аннотация: Приведены результаты экспериментальных исследований порошка нанокристаллического бемита, процесса уплотнения, микроструктуры и свойств корундовой керамики с пониженной температурой спекания. Керамические материалы, полученные из нанокристаллического бемита с подобранными добавками, спекаются до нулевой плотности при пониженных температурах, не выше 1400 - 1550°С. Керамика характеризуется мелкокристаллической структурой, имеет высокие диэлектрические свойства. Материалы являются перспективными в качестве подложек микросхем и спаев с металлами

Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)