Поисковый запрос: (<.>K=ЛИТОГРАФИЯ<.>) |
Общее количество найденных документов : 11
Показаны документы с 1 по 11 |
1. 
| Инвентарный номер: нет.
С 17
Самосборка микро- и наноструктур при двухстадийном их нанесении методом центрифугирования / П. В. Лебедев-Степанов [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 66-71 : ил. - Библиогр. : с. 71 (5 назв.)
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СТРУКТУРИРОВАННЫЕ ПЛЕНКИ -- ЛАЗЕРНАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Найти похожие
|
2.
| Инвентарный номер: нет.
Х 46
Химическое паттернирование пленок Ленгмюра-Блоджетт методом мягкой гелевой литографии / А. А. Еленский [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 5-6. - С. 66-71 : рис. - Библиогр. : с. 71 (29 назв.)
. - ISSN 1195-078ББК 623.7
Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ ЛЕНГМЮР-БЛОДЖЕТТ -- ПАТТЕРНИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ
Найти похожие
|
3.
| Инвентарный номер: нет.
А 28
Адамов, Д. Ю.
Нанопроводникии для наноэлектроники / Д. Ю. Адамов, Ю. Ф. Адамов, Н. М. Горшкова // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 9-14 : рис. - Библиогр. : с. 14 (12 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
Кл.слова (ненормированные):
НАНОПРОВОДНИК -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОТРУБКА УГЛЕРОДНАЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПЛАНАРНАЯ -- НАНОПРОВОДНИК ГЕТЕРОСТРУКТУРНЫЙ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОПРОВОДНИКОВ
Найти похожие
|
4.
| Инвентарный номер: нет.
Б 86
Бокарев, В. П.
Применение контактной литографии в процессах переноса субмикрометрового изображения при изготовлении мэмс и пав-устройств / В. П. Бокарев, Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 23-27 : табл., рис. - Библиогр. : с. 27 (9 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЛИТОГРАФИЯ КОНТАКТНАЯ -- МЭМС -- ПАВ-УСТРОЙСТВА
Аннотация: Рассмотрены вопросы применимости контактной, проекционной и импринт литографии при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств с субмикрометровыми проектными нормами
Найти похожие
|
5.
| Инвентарный номер: нет.
К 89
Кузьмин, А. А.
Технология изготовления интегральных сверхпроводниковых болометров терагерцового диапазона частот / А. А. Кузьмин, А. Г. Коваленко, С. А. Ковтонюк // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 16-21 : рис. - Библиогр. : с. 21 (7 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БОЛОМЕТРЫ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫЕ -- ДИАПАЗОН ДЛИН ВОЛН (ЧАСТОТ) -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ
Аннотация: Предложена технология изготовления сверхпроводниковых тонкопленочных болометров, включенных в планарную двухщелевую антенну на частоты от 0,2 до 0,3 ТГц. Такие интегральные болометры полностью были изготовлены с помощью электронно-лучевой литографии с применением органических масок из ПММА и его соnолимеров. В качестве термометра и абсорбера излучения были использованы микроструктуры из тонкопленочного сверхпроводника - титановые мостики, полученные методом магнетронного напыления и "lift-off методики. Такая микроструктура имела критическую температуру перехода Тк около 0,35 К и являлась сенсором на краю перехода (СКП). Антенна и подводящие линии были выполнены из ниобия
Найти похожие
|
6.
| Инвентарный номер: нет.
Ф 79
Формирование суперкластеров нанооксидов титана под острием сканирующего туннельного микроскопа / М. В. Гришин, С. А. Ковалевский, Ф. И. Далидчик, А. К. Гатин // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 51-53 : рис. - Библиогр. : с. 53 (10 назв.)
. - ISSN 1992-7223ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСКОП ТУННЕЛЬНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ -- СУПЕРКЛАСТЕРЫ ОКСИДНЫЕ -- ЛИТОГРАФИЯ ЗОНДОВАЯ
Аннотация: В высоковакуумных экспериментах (Р = 5*10-10 мбар) под острием сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) на поверхности окисленного титана обнаружено формирование оксидных суперкластеров с размерами до нескольких десятков нанометров. Установлены зависимости размеров нанокластеров от основных параметров сканирования (величины, полярности и длительности импульсов напряжения, подававшихся на наноконтакт). Показано, что рост оксидных суперкластеров возможен как при положительных, так и при отрицательных значениях полярности. Полученные результаты, расширяющие возможности современной зондовой литографии, - первый пример формирования в условиях сверхвысокого вакуума на поверхности окисленных металлов наноразмерных оксидных структур
Найти похожие
|
7.
| Инвентарный номер: 209686 - ч/з.
623
С 74
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям [Текст] : в 3 т. / Моск. гос. ин-т электронной техники, Научно-производств. комплекс "Технол. центр"; под ред. Б. Бхушана ; пер. с англ. А. Н. Саурова. - М. : Техносфера, 2010 - . - (Мир материалов и технологий).
Т. 1. - 2010. - 862 с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-94836-262-5 : 900.00 р.ББК 623.7я22 + 541.171я22
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ--СПРАВОЧНИКИ
ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА
Найти похожие
|
8.
| Инвентарный номер: 209687 - ч/з.
623
С 74
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям [Текст] : в 3 т. / Моск. гос. ин-т электронной техники, Научно-производств. комплекс "Технол. центр"; под ред. Б. Бхушана ; пер. с англ. А. Н. Саурова. - М. : Техносфера, 2010 - . - (Мир материалов и технологий).
Т. 2. - 2010. - 1039 с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-94836-263-2 : 1200.00 р.ББК 623.7я22 + 541.171я22
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ--СПРАВОЧНИКИ
ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА
Найти похожие
|
9.
| Инвентарный номер: 209688 - ч/з.
623
С 74
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям [Текст] : в 3 т. / Моск. гос. ин-т электронной техники, Научно-производств. комплекс "Технол. центр"; под ред. Б. Бхушана ; пер. с англ. А. Н. Саурова. - М. : Техносфера, 2010 - . - (Мир материалов и технологий).
Т. 3. - 2010. - 831 с. - Библиогр. в конце разд. - Указ.: с. 807-831. - ISBN 978-5-94836-264-9 : 900.00 р.ББК 623.7я22 + 541.171я22
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ--СПРАВОЧНИКИ
ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА
Найти похожие
|
10.
| Инвентарный номер: нет.
Пр 68-1/19
Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование [] : сборник научных трудов / Физико-технологический ин-т РАН ; отв. ред. В. Ф. Лукичев. - М. : Наука, 2008. - 246, [1] с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 19). - Загл. на обороте тит. л. : Quantum computers, micro- and nanoelectronics. - Библиогр. в конце ст. - Посвящ. 70-летию со дня рождения действительного члена РАН А. А. Орликовского. - Б. ц.ББК 648.441я43(2)
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА--СБОРНИКИ
Найти похожие
|
11.
| Инвентарный номер: нет.
И 35
Изготовление МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом / П. Е. Троян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 31-32 : рис. - Библиогр. : с. 32 (2 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МДМ-КАТОДЫ -- НАНООСТРИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ -- ВАХ -- ШАБЛОН ТЕМПЛЕЙТНЫЙ
Аннотация: Предложены методы формирования наноострий на нижнем электроде МДМ-катода с помощью электронно-лучевой литографии и темплейтного шаблона. Получены структуры с наноостриями в виде пирамид и столбиков с плотностью 2-108 см-2. Для МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом установлено возрастание эмиссионного тока на порядок по сравнению с катодом с гладким электродом
Найти похожие
|
|
|
Главная
Новые поступления
Шлюз Z39.50
Каталог книг и продолжающихся изданий
Описание базы данных