Поисковый запрос: (<.>K=МЭМС<.>) |
Общее количество найденных документов : 76
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. 
| Инвентарный номер: нет.
Я 96
Яшин , К. Д.
Разработка МЭМС [Текст] / К. Д. Яшин , В. С. Осипович, Т. Г. Божко // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 28-34 : фото
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЗЕРКАЛА -- МИКРОВЫКЛЮЧАТЕЛИ -- МИКРОДАТЧИКИ
Найти похожие
|
2.
| Инвентарный номер: нет.
М 74
Мокров , Е. А.
Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур [Текст] / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - Библиогр.: с. 65 (5 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕНЗОРИЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- МЭМС-СТРУКТУРА
Найти похожие
|
3.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Повышение устойчивости мэмс-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур [Текст] / Е. М. Белозубов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 63-66 : рис. - Библиогр.: с.
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
|
4.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС-СТРУКТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ
Найти похожие
|
5.
| Инвентарный номер: нет.
Г 63
Гольцова, М. М.
МЭМС: большие рынки малых устрйств [Текст] / М. М. Гольцова, В. А. Юдинцев // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 9-13 : рис.
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- МЭМС -- МЭМС-УСТРОЙСТВА
Найти похожие
|
6.
| Инвентарный номер: нет.
С 56
Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ
Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций
Найти похожие
|
7.
| Инвентарный номер: нет.
С 92
Схемотехническое конструирование БИС преобразователя емкость - напряжение для микроэлектромеханических датчиков [Текст] / А. И. Белоус [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 19-19 : рис., табл. - Библиогр.: с. 19 (6 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ КОНДЕНСАТОР -- МЭМС-ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СИЛ
Аннотация: Рассматриваются вопросы схемотехнического конструирования БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения. Предлагаемая структурная схема БИС может быть использована для построения МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента
Найти похожие
|
8.
| Инвентарный номер: нет.
В 12
Вавилов, В. Д.
Исследование стохастической погрешности микросистемного акселерометра [Текст] / В. Д. Вавилов, О. Н. Глазков // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 27-29. - Библиогр.: с. 29 (5 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БЕЛЫЙ ШУМ -- МЭМС -- НУЛЕВОЙ УРОВЕНЬ
Аннотация: Целью данной работы является исследование влияния стохастического процесса, например "белого шума", на нулевой уровень и крутизну статической характеристики микросистемного акселерометра. Эти данные могут быть получены на начальном этапе проектирования до изготовления опытных образцов для экспериментальных исследований
Найти похожие
|
9.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. ЕБелозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (3 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕРМОСТОЙКОСТЬ -- МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ
Найти похожие
|
10.
| Инвентарный номер: нет.
С 56
Современные разработки МЭМС [] / К. Д. Яшин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64 : рис.
. - ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РАЗРАБОТКИ МЭМС -- ANALOG DEVICES -- ANSYS -- ГРУППА EVG -- INTELLIGENT MICRO PATTERING -- MEM RESEARCH -- MEMS ENGINEERING AND MATERIAL -- PLANAR -- VAISALA
Найти похожие
|
11.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, Ю. А. Козлова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 33-36 : рис. - Библиогр.: с. 36 (2 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ВИБРОУСКОРЕНИЯ -- ВЫВОДНОЙ ПРОВОДНИК -- КОНТАКТНАЯ ПЛОЩАДКА -- ЭЛЕКТРОД -- ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ
Найти похожие
|
12.
| Инвентарный номер: нет.
Е 92
Ефремов, Г. И.
Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов [Текст] / Г. И. Ефремов, Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- ТРЕХЭЛЕКТРОДНАЯ СИСТЕМА -- МИКРОАКТЮАТОР
Найти похожие
|
13.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 42-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (3 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ С ВОЗМОЖНОСТЬЮ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ
Найти похожие
|
14.
| Инвентарный номер: нет.
Б 61
Биморфный пьезоэлектрический двигатель для МЭМС на основе GaAs [Текст] / Е. А. Вопилкин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 47-51 : рис. - Библиогр.: с. 51 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БИМОРФ -- ПЬЕЗОДВИГАТЕЛЬ -- МИКРОКОНСОЛЬ
Найти похожие
|
15.
| Инвентарный номер: нет.
И 88
Исследование теплопроводности плотных газов в микросистемах [Текст] / Д. В. Локтев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 29-31 : рис., табл. - Библиогр. : с. 31 (4 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОНАГРЕВАТЕЛЬ -- ТЕРМОРЕЗИСТОР -- МЭМС
Найти похожие
|
16.
| Инвентарный номер: нет.
Э 45
Электромеханические преобразователи сенсорных микро-и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 32-44 : рис., табл. - Библиогр. : с. 42-44 (78 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НЭМС -- СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- АКТЮАТОРЫ
Найти похожие
|
17.
| Инвентарный номер: нет.
М 92
Мухуров, Н. И.
Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
ББК 623.7
Рубрики: ФИЗИКА
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ
Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами.
Найти похожие
|
18.
| Инвентарный номер: нет.
Э 45
Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 2. Детекторы, источники и характеристики шумов [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 27-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (25 назв.)
ББК 623.7
Рубрики: ФИЗИКА
Кл.слова (ненормированные):
СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- НЭМС -- ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ -- ДЕТЕКТОРЫ -- ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ -- МАСШТАБНЫЕ ЭФФЕКТЫ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ -- ШУМЫ -- СПЕКТРАЛЬНАЯ ПЛОТНОСТЬ ФЛУКТУАЦИЙ
Аннотация: Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к наносистемам являются туннельные детекторы. Однако, в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электрохимических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханичекие, температурные и адсорбционно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) , соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем.
Найти похожие
|
19.
| Инвентарный номер: нет.
М 59
Микровибрации конструкций капитальных строений как источник возобновляемой энергии для МЭМС-генераторов [Текст] / В. С. Соболев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 42-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭНЕРГОЕМКОСТЬ -- ВИБРОПЕРЕМЕЩЕНИЕ
Найти похожие
|
20.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39 : рис. - Библиогр. : с. 38 (12 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 53
Рубрики: ФИЗИКА
Кл.слова (ненормированные):
ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (ТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ МЭМС (ТТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС (ТЕМЭМС) -- ОБОБЩЕННАЯ СИСТЕМНАЯ МОДЕЛЬ
Найти похожие
|
21.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 34-39 : рис. - Библиогр. : с. 39 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: МЕХАНИКА
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС (ТТМЭМС) -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАЦИОНАРНАЯ
Найти похожие
|
22.
| Инвентарный номер: нет.
И 37
Измерительно-информационный комплекс для моделирования и демпфирования колебаний элементов летательных аппаратов / В. А. Акопьян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 7-13 : рис. - Библиогр. : с. 13 (18 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- КОЛЕБАНИЯ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ -- АКТЮАТОРЫ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- СЕНСОРЫ
Найти похожие
|
23.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами и мембранами, имеющими жесткий центр / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 38-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (5 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ФИЗИКА--МЕХАНИКА
Кл.слова (ненормированные):
ТТМЭМС -- МЭМС ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАЦИОНАРНАЯ
Найти похожие
|
24.
| Инвентарный номер: нет.
Р 24
Расчет параметров тестовой структуры МЭМС-акселерометра, изготовленного с использованием КНИ-пластин / И. В. Годовицын [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 12. - С. 39-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- КНИ -- АКСЕЛЕРОМЕТР
Найти похожие
|
25.
| Инвентарный номер: нет.
М 92
Мухуров, Н. И.
Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 7-15 : рис., табл. - Библиогр. : с. 15 (12 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- МИКРОСКАНЕРЫ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИИ -- ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ
Найти похожие
|
26.
| Инвентарный номер: нет.
П 32
Пивоненков, Б. И.
Одно- и трехкомпонентные пьезорезистивные акселерометры с воздушным демпфированием / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 42-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (9 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ФИЗИКА--ОБЩАЯ МЕХАНИКА. МЕХАНИКА ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Кл.слова (ненормированные):
АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТВНЫЙ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ ВОЗДУШНОЕ -- ВИБРОПРОЧНОСТЬ -- УДАРОПРОЧНОСТЬ
Найти похожие
|
27.
| Инвентарный номер: нет.
М 59
Микросенсор для контроля остаточного давления на основе периодического теплового режима / О. С. Бохов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 14-17 : рис. - Библиогр. : с. 17 (6 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ , 20-21 вв.
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСЕНСОР -- ДАВЛЕНИЕ -- МЭМС
Аннотация: Существующие чувствительные элементы для измеpения давления ниже атмосфеpного обладают узким диапазоном измеpения, высокой погpешностью и огpаниченным сpоком службы, что связано как с констpуктивными, так и с методическими особенностями датчиков. предложена методика, основанная на исследовании пеpиодического теплового pежима в pаботе теpмоpезистоpного сенсора, позволяющая повысить чувствительность и снизить погpешность, а также уменьшить инеpционность чувствительных элементов за счет измеpения вpеменных, а не амплитудных паpаметpов сигнала
Найти похожие
|
28.
| Инвентарный номер: нет.
Б 86
Бокарев, В. П.
Применение контактной литографии в процессах переноса субмикрометрового изображения при изготовлении мэмс и пав-устройств / В. П. Бокарев, Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 23-27 : табл., рис. - Библиогр. : с. 27 (9 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЛИТОГРАФИЯ КОНТАКТНАЯ -- МЭМС -- ПАВ-УСТРОЙСТВА
Аннотация: Рассмотрены вопросы применимости контактной, проекционной и импринт литографии при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств с субмикрометровыми проектными нормами
Найти похожие
|
29.
| Инвентарный номер: нет.
Д 72
Драгунов, В. П.
Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть i. расчет емкостей / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 37-41 : рис. - Библиогр. : с. 41 (12 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ
Аннотация: Сравниваются различные подходы к расчету зависимостей емкости плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых параллельных электрода, от межэлектродного зазора и взаимного смещения электродов. Рассчитываются погрешности в оценках емкости при использовании различных подходов. Приводится аналитическое выражение для расчета емкостей при изменении площади перекрытия электродов
Найти похожие
|
30.
| Инвентарный номер: нет.
Т 38
Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков / А. И. Белоус, И. В. Гасенкова [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр. : с. 6 (6 наим.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ПОСТРОЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-НАПРЯЖЕНИЕ
Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия
Найти похожие
|
|
|
|
Главная
Новые поступления
Шлюз Z39.50
Каталог книг и продолжающихся изданий
Описание базы данных