Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   У 59


   
    Универсальная вакуумная установка ВММР-МЭШ для нанесения покрытий из многокомпонентных материалов, в том числе в наноструктурном состоянии, и получения нанопорошков / В. С. Митин, В. К. Орлов, В. М. Сергеев, А. В. Митин, Н. Н. Краснобаев, Д. Д. Спиваков, О. И. Зиновьев // Нанотехника. - 2011. - № 4. - С. 88-101 : рис., табл. - Библиогр.: с. 101 (11 назв.) . - ISSN 1816-4498
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ВММР -- ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ -- НАНОПОКРЫТИЯ -- НАНОПОРОШКИ -- НАНОПОКРЫТИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ
Аннотация: Предлагается инновационное оборудование высокомощного магнетронного распыления ВММР-МЭШ), обеспечивающее распыление с плотностью мощности плазменного разряда до 500 Вт/см 2 на плоских и до 1500 Вт/см 2 на коаксиальных (трубчатых) системах. Оборудование позволяет получать различные типы нанопокрытий, включая многослойные и нанопорошки на промышленном уровне. Описан эффект равноскоростного распыления различных материалов с мозаичных мишеней при высокомощном магнетронном распылении (ВММР). Показано, что предложенное оборудование существенно облегчает получение многокомпонентных нанопокрытий с желаемыми свойствами и обеспечивает существенные технические и экономические преимущества по сравнению с другими методами РVD. Представлены примеры полученных нанопродуктов

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика