З-17 Зайцев, Н. А. Использование поверхностного интегрального акселерометра для работы в составе комплекса парашютно-реактивной системы [Текст] / Н. А. Зайцев, М. Р. Алимухамедов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 47-50 : рис. - Библиогр.: с. 50 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДАТЧИКИ УСКОРЕНИЯ -- ДАТЧИКИ СКОРОСТИ -- ПАРАШЮТНО-РЕАКТИВНАЯ СИСТЕМА -- ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ |
В 74 Вопилкина, Е. А. Возможности микроэлектромеханических систем [Текст] / Е. А. Вопилкина // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 47-50 : рис. - Библиогр.: с. 50 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОГИРОСКОП -- АКСЕЛЕРОМЕТР |
В 12 Вавилов, В. Д. Робастное управление маятником микросистемного акселерометра / В. Д. Вавилов, О. Н. Глазков // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 3. - С. 45-47 : рис. - Библиогр. : с. 47 (2 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РОБАСТНЫЙ -- СТРУКТУРНАЯ СХЕМА -- МИКРОСИСТЕМНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР -- ЗВЕНО -- МАЯТНИК -- ПОДВЕС -- ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ |
М 21 Малютин, Д. М. Микромеханический акселерометр прямого преобразования / Д. М. Малютин, М. Д. Малютина // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 4. - С. 35-38 : ил. - Библиогр. : с. 38 (3 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДИНАМИЧЕСКАЯ ОШИБКА |
Р 24 Расчет параметров тестовой структуры МЭМС-акселерометра, изготовленного с использованием КНИ-пластин / И. В. Годовицын [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 12. - С. 39-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- КНИ -- АКСЕЛЕРОМЕТР |
И 74 Информационно-измерительные микросистемы для подвижных объектов / В. Я. Распопов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 27-34 : рис., табл. - Библиогр. : с. 34 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК УРОВНЯ -- ДАТЧИК ПИРОМЕТРИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК МАГНИТНЫЙ -- ДАТЧИК УГЛОВОЙ СКОРОСТИ |
П 32 Пивоненков, Б. И. Одно- и трехкомпонентные пьезорезистивные акселерометры с воздушным демпфированием / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 42-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА--ОБЩАЯ МЕХАНИКА. МЕХАНИКА ТВЕРДЫХ ТЕЛ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТВНЫЙ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ ВОЗДУШНОЕ -- ВИБРОПРОЧНОСТЬ -- УДАРОПРОЧНОСТЬ |
Б 83 Боронахин, А. М. Применение микромеханических датчиков для диагностики рельсового пути / А. М. Боронахин, Л. Н. Подгорная // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 47-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИАГНОСТИКА ПУТИ -- АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- МОДУЛЬ ИНЕРЦИАЛЬНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ Аннотация: Рассматривается возможность использования микромеханических акселерометров и гироскопов в диагностике состояния железнодорожного пути. Разработан алгоритм определения вертикальных неровностей рельсовых нитей. Приводятся результаты экспериментального проезда системы |
П 32 Пивоненков, Б. И. Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47 : рис., табл., граф. - Библиогр. : с. 47 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- МЭМС Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат |
П 27 Переменный МЭМС-конденсатор с электростатическим управлением / Е. А. Вопилкин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 30-34 : рис. - Библиогр. : с. 34 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ВАРАКТОР -- ДВИГАТЕЛЬ КУЛОНОВСКИЙ -- АКСЕЛЕРОМЕТР Аннотация: Изготовлена микроэлектромеханическая система (МЭМС) на подложке арсенида галлия, представляющая собой подвижную золотую мембpану толщиной 1,5 мкм размером 100X100 мкм с электростатическим управлением. Исследованы статические электрофизические и резонансные колебательные свойства данной системы. Проведена оценка возможности использования его в качестве емкостного акселерометра, кулоновского двигателя и варактора |
Б 70 Блок инерциальных датчиков / С. А. Анчутин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 50-53 : рис. - Библиогр. : с. 53 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ИНЕРЦИАЛЬНЫЕ -- КРЕН -- ТАНГАЖ -- АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ Аннотация: Предложены результаты разработки блока инерциальных датчиков. Изложен принцип работы блока, представлены основные характеристики, полученные в результате проведенных испытаний |
И 88 Боронахин, А. М. Исследование влияния инструментальных погрешностей испытательного средства на результаты калибровки блока микроакселерометров / А. М. Боронахин, П. А. Иванов, И. Л. Суров // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 9-11 : табл., рис. - Библиогр. : с. 11 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- МОДЕЛЬ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ -- НАВИГАЦИЯ ИНЕРЦИАЛЬНАЯ -- СТЕНД ИСПЫТАТЕЛЬНЫЙ ДВУХОСНЫЙ Аннотация: Проводится исследование влияния неточности начальной выставки планшайбы испытательного стенда в плоскости горизонта, а также отклонения от ортогональности осей поворота и наклона стенда на результаты калибровки блока микроакселерометров. Исследование доводилось на малогабаритном двухосном стенде, разработанном Кафедрой лазерных измерительных и навигационных систем СПбГЭТУ "ЛЭТИ" |
Р 17 Разработка системы начальной выставки углового положения объекта на базе микромеханических акселерометров / С. П. Тимошенков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 45-47 : рис. - Библиогр. : с. 47 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- ПОЛОЖЕНИЕ УГЛОВОЕ -- ВЫСТАВКА НАЧАЛЬНАЯ Аннотация: Представлены результаты разработки и изготовления системы начальной выставки углового положения объекта на базе микромеханических акселерометров. Представлено описание и принцип работы системы начальной выставки, приведены результаты испытаний |
И 74 Информационно-аналитическое обеспечение начальных этапов проектирования микромеханических гироскопов и акселерометров / В. В. Ефимов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 11-18 : рис. - Библиогр. : с. 18 (30 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГИРОСКОП -- МИКРОМЕХАНИКА -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- МОДЕЛИ БАЗОВЫЕ МАТЕМАТИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрено информационно-аналитическое обеспечение процесса проектирования микромеханических гироскопов и акселерометров, включающее классификации, базовые схемы и базовые математические модели. Ключевые слова: микромеханика, гироскоп, акселерометр, проектирование, классификация, базовые конструктивные схемы, базовые математические модели |
К 95 Кухаренко, Б. Г. Дистанционный манипулятор на основе MEMS-акселерометра в качестве чувствительного элемента / Б. Г. Кухаренко, Д. И. Пономарев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 49-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ШУМ -- ФИЛЬТРАЦИЯ -- СИГНАЛ УПРАВЛЯЮЩИЙ -- ПРИМЕНЕНИЕ МНСТ -- МАНИПУЛЯТОР ДИСТАНЦИОННЫЙ -- MEMS-АКСЕЛЕРОМЕТР Аннотация: Рассматривается дистанционный манипулятор на основе MEMS-акселерометра, заменяющий компьютерную мышь. Особенности блок-схемы дистанционного манипулятора, функциональной схемы и схемы подключения MEMS-акселерометра влияют на уровень аддитивного шума. Анализ микроструктуры MEMS-акселерометра определяет рабочий режим манипулятора. Особенности использования оператором этого манипулятора влияют на уровень и характеристики шума в его управляющем сигнале. Программные средства отслеживают движения (жесты) пользователя манипулятора |
М 59 Микроакселерометры на различные диапазоны измерения линейных ускорений для систем инерциальной навигации / С. П. Тимошенков, В. В. Калугин, Е. С. Кочурина, С. А. Анчутин, В. А. Калинин, К. А. Строганов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 32-35 : рис. - Библиогр.: с. 35 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ЕМКОСТНОЙ -- МЭМС -- МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРЫ Аннотация: Рассмотрены микромеханические акселерометры, имеющие потенциально широкую область применения. Разработаны микроакселерометры с емкостной системой измерения перемещений чувствительного элемента, достоинством которой является высокая чувствительность, простота конструкции и технологии изготовления |
И 73 Интегральные МЭМС-датчики с повышенной стабильностью выходных параметров / В. В. Пинаев, В. С. Суханов, В. В. Панков, Ю. А. Михайлов, Н. Л. Данилова, С. Ю. Былинкин, А. А. Гаврилов, А. Н. Шипунов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 36-41 : рис. - Библиогр.: с. 41 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- СТАБИЛЬНОСТЬ ПАРАМЕТРОВ ВРЕМЕННАЯ -- ИСПЫТАНИЯ НА БЕЗОТКАЗНОСТЬ Аннотация: На примере изготовления чувствительных элементов датчиков давления и акселерометров рассмотрены технологические методики, обеспечивающие повышение временной стабильности их параметров. Приведены результаты ускоренных испытаний на безотказность макетных образцов. Расчетно-экспериментальным путем определены показатели надежности датчиков |
Б 86 Бохов, О. С. Миниатюрные навигационно-ориентационные интегрированные модули на основе микроэлектромеханических систем / О. С. Бохов, А. М. Спивак, Ю. А. Орехов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 55-60 : табл., рис. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- НАВИГАЦИЯ -- ГИРОСКОП -- АКСЕЛЕРОМЕТР Аннотация: Рассмотрено применение микроэлектромеханических систем для создания миниатюрных навигационно-ориентационных интегрированных модулей в целях улучшения массогабаритных параметров и энергопотребления, при этом рассмотренный интегральный подход дает возможность обеспечить характеристики устройств, в ряде задач сопоставимые с системами на лазерных гироскопах, и дополнительные преимущества, такие как время холодного старта, устойчивость к перегрузкам, повышенная живучесть |
К 17 Каленов, В. Е. Частотно-резонансный метод измерения механического воздействия с помощью нелинейного микромеханического преобразователя / В. Е. Каленов, А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 15-19 : рис. - Библиогр.: с. 19 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- МЭМС -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ НЕЛИНЕЙНЫЙ -- МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ЧАСТОТНО-РЕЗОНАНСНЫЙ Аннотация: Изложены основные принципы измерения механического воздействия частотно-резонансным методом с помощью нелинейного микромеханического преобразователя. Представлены условия, повышающие чувствительность нелинейного микромеханического преобразователя по перемещению и силе. Рассмотрен пример акселерометра на основе нелинейного преобразователя и проведена оптимизация его параметров |
Г 21 Гаршин, А. Я. Дифференциальный датчик давления с импульсной компенсацией / А. Я. Гаршин, А. В. Тучин, Е. Н. Бормонтов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 25-26 : рис., табл. - Библиогр.: с. 26 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- КОМПЕНСАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ Аннотация: Рассмотрены МЭМС-датчики с емкостным съемом информации, использующие принцип обратного электростатического преобразования. Представлены конструкции и рабочие характеристики экспериментальных образцов: акселерометра и датчика дифференциального давления. Рассмотрены перспективные направления разработок компенсационных МЭМС-датчиков |