П 32 Пивоненков, Б. И. Одно- и трехкомпонентные пьезорезистивные акселерометры с воздушным демпфированием / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 42-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА--ОБЩАЯ МЕХАНИКА. МЕХАНИКА ТВЕРДЫХ ТЕЛ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТВНЫЙ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ ВОЗДУШНОЕ -- ВИБРОПРОЧНОСТЬ -- УДАРОПРОЧНОСТЬ |
П 32 Пивоненков, Б. И. Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47 : рис., табл., граф. - Библиогр. : с. 47 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- МЭМС Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат |