О-42 Одиноков, В. Специальное оборудование для нанесения пленок и отжига материалов / В. Одиноков, Ю. Бараник, В. Рагузин // Наноиндустрия. - 2009. - № 3. - С. 4-8 : ил. - . - ISSN 1993-8578 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ |