К 17 Калаева, С. З. Нанотехнология получения магнитных жидкостей из железосодержащих отходов [] / С. З. Калаева, В. М. Макаров, А. Г. Ерехинская // Нанотехника. - 2008. - № 3. - С. 80-83 : рис. - Библиогр.: с. 83 (8 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ |
О-75 Особенности строения и перспективы использования пленок Ленгмюра—Блоджетт жестко-цепного полиимида / С. И. Голоудин, В. В. Лучинин, В. М. Пасюта, М. Б. Криштаб, М. Ф. Панов, В. В. Розанов, В. П. Склизкова, В. В. Кудрявцев, М. Р. Бакланов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 9-15 : табл., рис. - Библиогр.: с. 15 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИИМИД -- ЛЕНГМЮР—БЛОДЖЕТТ -- МЕМБРАНЫ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ ПОР Аннотация: Обсуждаются результаты исследования пленок Ленгмюра—Блоджетт преполимера полиимида — алкиламмонийной соли жесткоцепной полиамидокислоты и соответствующего полиимида, полученные методами эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, малоуглового рентгеновскогорассеяния и рентгеновской рефлектометрии. Показана эффективность использования наноразмерных полиимидных пленок для прецизионного снижения внутреннего напряжения в мембране из нитрида кремния, а также в качестве покрытий, стабилизирующих электретный заряд в структуре SiO—полиимид. Продемонстрирована высокая планаризующая способность рассматриваемых пленок |
В 14 Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (анадитический обзор) Часть 1. Процессы соединения и разрезания пластин, локальная герметизация (вакуумное капсулирование) чувствительных элементов сенсорных микроэлектромеханических систем / П. Г. Бабаевский, С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, Е. А. Гринькин, В. Е. Турков, Г. М. Резниченко, Д. Д. Рискин, Ю. А. Бычкова // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 3-12. - Библиогр.: с. 12 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- КОРПУСИРОВАНИЕ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН -- СОЕДИНЕНИЕ ПЛАСТИН -- РАЗРЕЗАНИЕ -- ВАКУУМНОЕ КАПСУЛИРОВАНИЕ Аннотация: Данный обзор посвящен обобщенному анализу способов и проблем вакуумплотного корпусирования сенсорных МЭМС, в первую очередь, соединения элементов корпусов и подложек, их разделения, формирования электрических выводов, контактов и соединений, обеспечения, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях. Первая часть обзора посвящена обобщенному анализу особенностей и возможностей наиболее эффективных процессов соединения кремниевых пластин между собой и с пластинами из других материалов, разрезания пластин и вакуумного капсулирования МЭМ ЧЭ в рабочих полостях. Анализ показывает, что наибольшие возможности при производстве вакуумплотных сенсорных МЭМС обеспечивает использование металлических соединительных слоев, в первую очередь, из эвтектических сплавов золота и низкотемпературных припоев |
Т 38 Технология формирования интегральной микрофлюидной КМОП-системы с нанопроволочными чувствительными элементами / О. В. Чуйко, Е. В. Кузнецов, М. И. Савельев, Н. В. Комарова, М. С. Сироткина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 23-25. - Библиогр.: с. 25 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИОННО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР -- КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- МИКРОФЛЮИДНАЯ СИСТЕМА -- СИСТЕМА "LAB ON CHIP" -- КОРПУСИРОВАНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ Аннотация: Представлен технологический маршрут изготовления микросистемы, объединяющей в себе интегральное изготовление нанопроволочного ISFET-биосенсора, совмещенного с КМОП-технологией, и микрофлюидной системы на этапе корпусирования и герметизации ИС |