С 34 Сивченко, А. С. Методики анализа основных характеристик надежности в КМОП ИС с помощью тестовых структур в составе пластин / А. С. Сивченко, Е. В. Кузнецов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 7-9 : граф. - Библиогр.: с. 9 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАДЕЖНОСТЬ -- ДЕФЕКТНОСТЬ -- ОТКАЗ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ИС -- ГОРЯЧИЕ НОСИТЕЛИ Аннотация: Представлены методики, позволяющие с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин определять время наработки до отказа линии металлизации и деградацию параметров МОП-транзисторов под действием горячих носителей. Также в работе представлена методика, позволяющая определять дефектность подзатворного диэлектрика |