Е 30 Егоров, В. В. Рассеяние волн на границе раздела двух сред / В. В. Егоров // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 11-13. - Библиогр. : с. 13 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УРАВНЕНИЯ МАКСВЕЛЛА -- УРАВНЕНИЕ ИНТЕГРАЛЬНОЕ -- ГРАНИЦА РАЗДЕЛА -- ДЕКОМПОЗИЦИЯ ЗАДАЧИ |
Р 68 Роль границ раздела в наноразмерных МДП-транзисторах с многослойными high-K-диэлектриками / Н. А. Зайцев // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 15-17. - Библиогр. : с. 17 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГРАНИЦА РАЗДЕЛА -- МДП-СТРУКТУРА -- HiGH-K DIELECTRICS Аннотация: Раскрывается тезис о необходимости управления структурой субоксидного слоя на границе high-K-диэлектрик/Si путем формирования ультратонкого слоя SiO2, а также на целесообразность использования буферного слоя на границе high-K-диэлектрик/металл |