М 61 Миниатюрные датчики внутри машин следят за "здоровьем" деталей [Текст] // Нанотехнологии: наука и производство. - 2008. - № 1. - С. 26
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ МИНИАТЮРНЫЕ -- НАНОСТРУКТУРЫ (МЕХАНИКА) Аннотация: Поддержание в работоспособном состоянии многотонных турбин электростанций требует периодической остановки агрегатов для частичной разборки и измерения износа, что обходится в сотни тысяч долларов. Теперь создан датчик, способный доставлять из самого "пекла" информацию о состоянии узла в реальном времени |
М 74 Мокров , Е. А. Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур [Текст] / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - Библиогр.: с. 65 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРИЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- МЭМС-СТРУКТУРА |
Б 43 Белозубов, Е. М. Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС-СТРУКТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ |
О-42 Одиноков, В. Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанопленок "МАГНА ТМ -200-01" [Текст] / В. Одиноков, Г. Павлов // Наноиндустрия. - 2008. - № 4. - С. 10-12 : рис., табл. - Библиогр.: с. 12 (2 назв.) . - ISSN 1993-8578
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ Аннотация: НИИ точного машиностроения (НИИТМ) специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и отжига. Приоритетным напрвлением деятельности являются разработки оборудования для реализации новых технологических процессов, применяемых в наноэлектронике, микромеханике, при синтезе наноматериалов |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. ЕБелозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕРМОСТОЙКОСТЬ -- МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ |
З-17 Зайцев, Н. А. Использование поверхностного интегрального акселерометра для работы в составе комплекса парашютно-реактивной системы [Текст] / Н. А. Зайцев, М. Р. Алимухамедов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 47-50 : рис. - Библиогр.: с. 50 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДАТЧИКИ УСКОРЕНИЯ -- ДАТЧИКИ СКОРОСТИ -- ПАРАШЮТНО-РЕАКТИВНАЯ СИСТЕМА -- ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ |
С 16 Салихов, Р. Б. Нанообъекты с узкой проводящей зоной на основе диэлектрических пленок полиариленфталидов [Текст] / Р. Б. Салихов, А. Н. Лачинов // Нанотехнологии: наука и производство. - 2008. - № 4. - С. 61-73 : рис. - Библиогр.: с. 73 (43 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- ПОЛИМЕРНЫЕ БАТАРЕЙКИ |
И 26 Иглы на основе многостенных углеродных нанотрубок для сканирующей зондовой микроскопии [Текст] / О. В. Демичева [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2008. - Т. 3, № 11-12. - С. 118-123 : рис. - Библиогр.: с. 123 (10 назв.) . - ISSN 1195-078 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- КАНТИЛЕВЕРЫ |
У 59 Универсальный термочувствительный элемент для датчиков газового потока [Текст] / Н. А. Дюжев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 23-25 : рис. - Библиогр. : с. 25 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОТЕРМОАНЕМОМЕТР -- РАСХОДОМЕТРИЯ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ДАТЧИКИ РАСХОДА ГАЗА |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39 : рис. - Библиогр. : с. 38 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (ТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ МЭМС (ТТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС (ТЕМЭМС) -- ОБОБЩЕННАЯ СИСТЕМНАЯ МОДЕЛЬ |
С 16 Салихов, Р. Б. Наноструктурированные пленки полиариленфталидов и их применение / Р. Б. Салихов, А. Н. Лачинов // Нанотехника. - 2009. - № 1. - С. 35-39 : ил. - Библиогр. : с. 38-39 (34 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИФРИЛЕНФТАЛИДЫ -- ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ -- ДИОДЫ ШОТТКИ |
Г 69 Горнев, Е. С. Датчики становятся меньше, функциональнее и умнее... / Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 5. - С. 18-28 : ил. - Библиогр. : с. 28 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- ПРОГРАММА РАЗВИТИЯ |
М 61 Миниатюрные резервные средства автоматики на основе высокотемпературных гальванических элементов / В. В. Просянюк [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 5. - С. 29-31 : ил. - Библиогр. : с. 31 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- СРЕДСТВА АВТОМАТИКИ -- УДЕЛЬНАЯ ПЛОТНОСТЬ |
А 74 Анцев, Г. В. Бесконтактные помехоустойчивые дптчики на поверхностных акустических волнах / Г. В. Анцев, С. В. Богословский, Г. А. Сапожников // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 8. - С. 38-43 : рис. - Библиогр. : с. 43 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ДИСПЕРСИОННЫЕ ЛИНИИ ЗАДЕРЖКИ -- АКУСТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ |
623 J 51 Jha, A. R. MEMS and Nanotechnology-Based Sensors and Devices for Communications, Medical and Aerospace Applications [Text] : монография / A. R. Jha. - Boca Raton [et al.] : CRC Press, 2008. - XXVII, 401 p. : рис., ил. - Библиогр. в конце глав. - Указ.: с. 385-401. - ISBN 978-0-8493-8069-3 : 4232.00 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ |
Т 38 Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков / А. И. Белоус, И. В. Гасенкова [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр. : с. 6 (6 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ПОСТРОЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-НАПРЯЖЕНИЕ Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия |
И 74 Информационно-измерительные системы ориентации на микромеханических чувствительных элементах для вращающихся по крену летательных аппаратов / В. Я. Распопов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 26-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- АППАРАТЫ ЛЕТАТЕЛЬНЫЕ -- РАКЕТА Аннотация: Исследуется возможность использования микромеханических гироскопов и акселерометров на борту вращающихся по крену беспилотных летательных аппаратов. Предлагается алгоритм получения измерительной информации для решения задач стабилизации и управления вращающимися по крену летательными аппаратами?? |
Б 70 Блок инерциальных датчиков / С. А. Анчутин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 50-53 : рис. - Библиогр. : с. 53 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ИНЕРЦИАЛЬНЫЕ -- КРЕН -- ТАНГАЖ -- АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ Аннотация: Предложены результаты разработки блока инерциальных датчиков. Изложен принцип работы блока, представлены основные характеристики, полученные в результате проведенных испытаний |
М 54 Метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 24-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАНДАРТНАЯ -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ Аннотация: Предложен метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем. Рассмотрены пути симметрирования тепловых потоков и геометрических, физико-химических характеристик элементов конструкции при воздействии симметричного и асимметричного относительно оси упругого элемента НиМЭМС нестационарного температурного поля. Предложены конкретные реализации их элементов конструкций |
М 74 Модификация зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков / С. М. Аракелян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 4-8 : рис. - Библиогр. : с. 8 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МЕТОД ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ -- ДАТЧИКИ-КАНТИЛЕВЕРЫ ЗОНДОВЫЕ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ РАСТЕКАНИЯ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований по модификации зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) путем осаждения на поверхность балки кантилевера вольфрамового острия методом фокусированных ионных пучков (ФИП) с применением высокоселективной газовой химии. Показано, что полученные методом ФИП зонды длиной 5 мкм и радиусом закругления порядка 50 нм позволяют повысить точность измерений тестовых объектов. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления и модификации зондовых датчиков-кантилеверов АСМ, а также при исследовании структур микро-и наносистемной техники |