П 27 Переменный МЭМС-конденсатор с электростатическим управлением / Е. А. Вопилкин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 30-34 : рис. - Библиогр. : с. 34 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ВАРАКТОР -- ДВИГАТЕЛЬ КУЛОНОВСКИЙ -- АКСЕЛЕРОМЕТР Аннотация: Изготовлена микроэлектромеханическая система (МЭМС) на подложке арсенида галлия, представляющая собой подвижную золотую мембpану толщиной 1,5 мкм размером 100X100 мкм с электростатическим управлением. Исследованы статические электрофизические и резонансные колебательные свойства данной системы. Проведена оценка возможности использования его в качестве емкостного акселерометра, кулоновского двигателя и варактора |