К 89 Кузьмин, А. А. Технология изготовления интегральных сверхпроводниковых болометров терагерцового диапазона частот / А. А. Кузьмин, А. Г. Коваленко, С. А. Ковтонюк // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 16-21 : рис. - Библиогр. : с. 21 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БОЛОМЕТРЫ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫЕ -- ДИАПАЗОН ДЛИН ВОЛН (ЧАСТОТ) -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ Аннотация: Предложена технология изготовления сверхпроводниковых тонкопленочных болометров, включенных в планарную двухщелевую антенну на частоты от 0,2 до 0,3 ТГц. Такие интегральные болометры полностью были изготовлены с помощью электронно-лучевой литографии с применением органических масок из ПММА и его соnолимеров. В качестве термометра и абсорбера излучения были использованы микроструктуры из тонкопленочного сверхпроводника - титановые мостики, полученные методом магнетронного напыления и "lift-off методики. Такая микроструктура имела критическую температуру перехода Тк около 0,35 К и являлась сенсором на краю перехода (СКП). Антенна и подводящие линии были выполнены из ниобия |