С 92 Схемотехническое конструирование БИС преобразователя емкость - напряжение для микроэлектромеханических датчиков [Текст] / А. И. Белоус [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 19-19 : рис., табл. - Библиогр.: с. 19 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ КОНДЕНСАТОР -- МЭМС-ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СИЛ Аннотация: Рассматриваются вопросы схемотехнического конструирования БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения. Предлагаемая структурная схема БИС может быть использована для построения МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента |
В 58 Влияние адсорбции на емкостные свойства нанопористого кремния / Д. И. Биленко [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 15-18 : рис. - Библиогр. : с. 18 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ЭЛЕКТРОТЕХНИКА Кл.слова (ненормированные): НАНОСТРУКТУРЫ -- КРЕМНИЙ ПОРИСТЫЙ ЧАСТИЧНО ОКИСЛЕННЫЙ -- ЕМКОСТЬ -- ПРОВОДИМОСТЬ -- АДСОРБЦИЯ -- ЗАВИСИМОСТЬ ЧАСТОТНАЯ -- СЕНСОР |
Д 72 Драгунов, В. П. Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть i. расчет емкостей / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 37-41 : рис. - Библиогр. : с. 41 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ Аннотация: Сравниваются различные подходы к расчету зависимостей емкости плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых параллельных электрода, от межэлектродного зазора и взаимного смещения электродов. Рассчитываются погрешности в оценках емкости при использовании различных подходов. Приводится аналитическое выражение для расчета емкостей при изменении площади перекрытия электродов |
Т 38 Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков / А. И. Белоус, И. В. Гасенкова [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр. : с. 6 (6 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ПОСТРОЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-НАПРЯЖЕНИЕ Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия |
Д 72 Драгунов, В. П. Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть ii. расчет электростатических сил / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 40-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ -- ЭФФЕКТЫ КРАЕВЫЕ Аннотация: Проводится сравнение различных подходов к оценке компонент электростатических сил, действующих между электродами плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых электрода. Приводятся аналитические выражения для расчета компонент электростатических сил. Рассчитываются погрешности в оценках компонент электростатических сил, действующих на электроды конденсаторов при изменении межэлектродного зазора и площади перекрытия электродов |
Е 30 Егоров, Г. П. Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ / Г. П. Егоров, А. А. Волков, А. Л. Устюжанинов // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 74-78 : табл., рис. - Библиогр. : с. 78 (11 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПЛЕНКИ IN-SITU -- МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ВНУТРЕННИХ НАПРЯЖЕНИЙ -- ПЛАСТИНА КОНСОЛЬНО ЗАКРЕПЛЕННАЯ Аннотация: Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Внутренние механические напряжения непосредственно влияют на работоспособность пленочных структур в микроэлектронных приборах. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластины во время осаждения нанопленок в вакууме. В работе использован магнетронный способ нанесения покрытий в вакууме. Для определения прогиба консоли измерялась емкость конденсатора, образованного неподвижной обкладкой, закрепленной на стойке, и обкладкой, прикрепленной к свободному концу тонкой пластины. Для измерения малой емкости конденсатор включен в цепь мультивибратора. Проведены эксперименты по измерению напряжений in-situ при нанесении пленок Ti и Си на медные подложки. Установлено, что напряжения, возникающие в титановой пленке, - растягивающие, а в медной пленке - сжимающие, а их величина существенно меняется при напуске воздуха в вакуумную камеру. Полученные результаты показывают перспективность данного метода исследования механических напряжений в нанопленках не только для прямого измерения возникающих напряжений, но и эффектов взаимодействия газов с наноструктурными пленками in-situ |
Б 28 Батурин, А. С. Измерение емкости квазистатическим методом в атомно-силовом микроскопе / А. С. Батурин, А. А. Чуприк // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 2-7 : рис., табл. - Библиогр. : с. 7 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АСМ -- ЕМКОСТЬ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ВОЛЬТ-ФАРАДНЫЕ -- НАНОМЕТРОЛОГИЯ Аннотация: Рассмотрен квазистатический метод одновременного измерения вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик с помощью атомно-силового микроскопа. Выполнен систематический анализ источников погрешности измерения емкости микроструктур. Показана возможность измерения емкости в диапазоне 10...500 пФ с погрешностью менее 3 % и с высоким пространственным разрешением |
Э 45 Электрохимические характеристики наноструктурированного материала на основе модифицированных жгутиков галофильной археи Halobacterium salinarum для отрицательного электрода литий-ионного аккумулятора / С. Н. Безносов [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 11-12. - С. 43-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (21 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЖГУТИКИ МОДИФИЦИРОВАННЫЕ -- АРХЕЯ ГАЛОФИЛЬНАЯ HALOBACTERIUM SALINARUM -- ЭЛЕКТРОД ОТРИЦАТЕЛЬНЫЙ -- АККУМУЛЯТОР ЛИТИЙ-ИОННЫЙ -- МАТЕРИАЛ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЙ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ Аннотация: Модифицированные жгутики галофильной археи Halobacterium salinarum, минерализованные оксидом кобальта и нанесенные на токопроводящую основу из никелевой сетки, испытаны в качестве материала отрицательного электрода литий-ионного аккумулятора. Установлено, что обратимая емкость таких наноструктурированных образцов превышает 400 мАч/г, причем их стабильность при циклировании существенно повышается, если оксидом кобальта минерализуются жгутики, предварительно фратентированные ультразвуком |
Л 88 Лысенко, И. Е. Устройства обработки сигналов емкостных преобразователей микромеханических компонентов / И. Е. Лысенко, Е. А. Рындин, Н. К. Дудин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 48-51 : рис. - Библиогр.: с. 51 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ -- КОМПОНЕНТЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-ЧАСТОТА Аннотация: Предложен метод построения устройств обработки сигналов емкостных преобразователей микромеханических компонентов. Описаны результаты моделирования и экспериментального исследования устройств |