В 12 Вавилов, В. Д. Робастное управление маятником микросистемного акселерометра / В. Д. Вавилов, О. Н. Глазков // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 3. - С. 45-47 : рис. - Библиогр. : с. 47 (2 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РОБАСТНЫЙ -- СТРУКТУРНАЯ СХЕМА -- МИКРОСИСТЕМНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР -- ЗВЕНО -- МАЯТНИК -- ПОДВЕС -- ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ |
З-17 Зайцев, А. А. Развитие схемотехники фильтра контура управления для интегральных быстродействующих устройств автоматического фазирования сигналов / А. А. Зайцев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 25-28 : рис. - Библиогр. : с. 28 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФАЗИРОВАНИЕ СИГНАЛОВ АВТОМАТИЧЕСКОЕ -- ЗВЕНО ИНТЕГРАЛЬНОЕ ИЗОДРОМНОЕ Аннотация: Представлена новая реализация фильтра контура управления для быстродействующих устройств автоматического фазирования сигналов, предназначенных для полной интеграции на кристалле микросхемы. Техническим результатом предложенного решения является значительное уменьшение площади, занимаемой элементами фильтра на кристалле микросхемы |
Г 12 Гавриленко, В. П. Нанометрология – ключевое звено инфраструктуры нанотехнологий / В. П. Гавриленко, П. А. Тодуа // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 47-55 : рис. - Библиогр.: с. 55 (19 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОМЕТРОЛОГИЯ -- НАНОЧАСТИЦ -- НАНОСТРУКТУР -- НАНОПОКРЫТИЯ -- ПЛЕНКИ -- МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МЕТОДЫ СПЕКТРОСКОПИЧЕСКОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ Аннотация: Размерные параметры наночастиц, наноструктур, нанопокрытий являются определяющими в характеризации объектов нанотехнологий. Одно из важнейших направлений нанометрологии – обеспечение единства измерений в нано- и субнанометровом диапазонах. Представлены новые типы кремниевых тест-объектов, обеспечивающих прослеживаемость размерных измерений к единице длины в системе СИ методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии. Приведены результаты измерений толщин пленки окисла кремния методами спектроскопической эллипсометрии и просвечивающей электронной микроскопии. Рассмотрены метрологические аспекты стандартизации в нанотехнологиях |