А 67 Анизогридные композитные сетчатые конструкции - разработка и приложение к космической технике / В. В. Васильев [и др.] // Композиты и наноструктуры. - 2009. - № 3. - С. 38-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (9 назв.) . - ISSN 1999-7590 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОМПОЗИТЫ -- КОНСТРУКЦИИ СЕТЧАТЫЕ -- АНАЛИЗ -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ |
И 35 Изготовление и исследования свойств наноструктур для прямого преобразования ядерной энергии в электрическую с использованием эмиссии вторичных электронов / В. А. Чернов, А. Н. Палагушкин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 2-9 : рис., табл. - Библиогр. : с. 9 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНЫ ВТОРИЧНЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ЯДЕРНОЙ ЭНЕРГИИ ПРЯМОЕ -- МЕТОД МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ -- СТРУКТУРЫ МДМ -- МЕТОД ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ Аннотация: Обоснованы требования к наноструктурам металл- диэлектрик-металл (МДМ-структуры), применяемым для прямого преобразования ядерной энергии в электрическую с использованием эмиссии вторичных электронов. Описаны методы изготовления МДМ-структур - метод магнетронного ионно-плазменного распыления и метод электронно-лучевого распыления. Изложены свойства изготовленных МДМ-структур W-Al2O3-Al с толщиной слоев 10, 100 и 10 нм соответственно |
С 38 Синтез нанопорошков карбида титана и изготовление пористых материалов на их основе / М. И. Алымов [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 1-2. - С. 122-127 : рис., табл. - Библиогр. : с. 127 (17 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИНТЕЗ НАНОПОРОШКОВ -- КАРБИД ТИТАНА -- МАТЕРИАЛЫ ПОРИСТЫЕ Аннотация: Разработана технология синтеза нанопорошков карбида титана узкого фракционного состава с малым содержанием примесей. Определены режимы прессования и спекания порошка карбида титана, на основе которого получен пористый материал с открытой пористостью до 50 %. Предел прочности на изгиб пористого материала имеет тенденцию к уменьшению с ростом температуры спекания в пределах температур 1250-1550 ?C, при этом находится в интервале от 66 до 95 МПа |
И 35 Изготовление МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом / П. Е. Троян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 31-32 : рис. - Библиогр. : с. 32 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МДМ-КАТОДЫ -- НАНООСТРИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ -- ВАХ -- ШАБЛОН ТЕМПЛЕЙТНЫЙ Аннотация: Предложены методы формирования наноострий на нижнем электроде МДМ-катода с помощью электронно-лучевой литографии и темплейтного шаблона. Получены структуры с наноостриями в виде пирамид и столбиков с плотностью 2-108 см-2. Для МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом установлено возрастание эмиссионного тока на порядок по сравнению с катодом с гладким электродом |
М 61 Миниатюрный тензорезистивный преобразоватеаь давления с высокой чувствительностью / И. В. Головицын, В. В. Амеличев, В. В. Панков, А. Н. Сауров // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 26-29 : рис., табл. - Библиогр.: с. 29 (19 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ МИНИАТЮРНЫЕ Аннотация: Описана разработка технологического маршрута и изготовление миниатюрного преобразователя давления на КНИ-структуре, предложенного ранее. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из поликристаллического кремния. Структура преобразователя формируется с помощью технологии поверхностной микрообработки с применением односторонней обработки пластины. Изготовлены два варианта преобразователя - с кольцевым концентратором напряжений на мембране, сформированным из пассивирующего слоя толщиной 1,2 мкм, и без концентратора. Проведены измерения основных параметров преобразователя при температуре +20, -50 и +60 °С. Оба варианта демонстрируют чувствительность около 24 мВ-(В•атм)-1. Проведен анализ параметров преобразователей с точки зрения влияния технологических факторов |
И 35 Изготовление микроэлектромеханических устройств на основе технологии формирования изолированных блоков в пластине кремния / О. В. Морозов, А. В. Постников, И. И. Амиров, В. А. Кальнов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 15-18 : рис. - Библиогр.: с. 18 (24 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИКА -- ОКИСЛЕНИЕ КРЕМНИЯ ТЕРМИЧЕСКОЕ -- ПРИВОД ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ГРЕБЕНЧАТЫЙ -- DRIE Аннотация: Представлен новый способ изготовления микроэлектромеханических устройств на основе формирования изолированных блоков SiO2 в пластине Si. Технология изготовления включает процессы двустороннего глубокого анизотропного травления Si и глубокого его окисления для получения изолированных областей SiO2. Применимость предложенного способа показана на примере изготовления микроактюатора с электростатическим гребенчатым приводом |
Т 38 Технология формирования интегральной микрофлюидной КМОП-системы с нанопроволочными чувствительными элементами / О. В. Чуйко, Е. В. Кузнецов, М. И. Савельев, Н. В. Комарова, М. С. Сироткина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 23-25. - Библиогр.: с. 25 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИОННО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР -- КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- МИКРОФЛЮИДНАЯ СИСТЕМА -- СИСТЕМА "LAB ON CHIP" -- КОРПУСИРОВАНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ Аннотация: Представлен технологический маршрут изготовления микросистемы, объединяющей в себе интегральное изготовление нанопроволочного ISFET-биосенсора, совмещенного с КМОП-технологией, и микрофлюидной системы на этапе корпусирования и герметизации ИС |
Р 24 Расчет и изготовление узкополосного СВЧ микроэлектромеханического переключателя для частотного диапазона 10...12 ГГц на подложках арсенида галлия / П. П. Мальцев, М. В. Майтама, А. Ю. Павлов, Н. В. Щаврук // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 30-33. - Библиогр.: с. 33 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- СВЧ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ -- РАСЧЕТ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ -- АРСЕНИД ГАЛЛИЯ Аннотация: Рассмотрены вопросы проектирования и изготовления дискретных электростатических СВЧ переключателей на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) на пластинах арсенида галлия и оценки возможности интегрирования их в общую схему с монолитными интегральными схемами (МИС) приемо-передающих устройств, изготовленных в едином производственном цикле |
В 19 Васильев, В. В. Анизогридная композитная сетчатая секция фюзеляжа пассажирского самолета / В. В. Васильев, А. Ф. Разин, В. А. Никитюк // Композиты и наноструктуры. - 2013. - № 3. - С. 5-14 : рис., табл., граф. - Библиогр.: с. 14 (11 назв.) . - ISSN 1999-7590 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОМПОЗИТЫ -- СЕТЧАТЫЕ КОНСТРУКЦИИ -- АНАЛИЗ -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ -- ФЮЗЕЛЯЖ -- САМОЛЕТ Аннотация: В статье рассматривается разработка геодезической сетчатой анизогридной (Anisogrid – анизотропная сетка) конструкции секции фюзеляжа пассажирского самолета. Описывается силовая схема конструкции, технология ее изготовления и представлены результаты расчета, проектирования и весового анализа |
А 35 Азаров, А. В. Проектирование и изготовление композитного бака высокого давления для космического аппарата / А. В. Азаров, А. А. Бабичев, Ф. К. Синьковский // Композиты и наноструктуры. - 2013. - № 4. - С. 44-57 : граф., рис. - Библиогр.: с. 57 (2 назв.) . - ISSN 1999-7590 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БАЛЛОНЫ ДАВЛЕНИЯ -- КОМПОЗИТЫ -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ Аннотация: Статья посвящена расчету, проектированию и технологии изготовления композитного бака, высокого давления, предназначенного для хранения ксенона для системы коррекции космического аппарата. Предложена конструкция крепления бака к композитному несущему корпусу космического аппарата сетчатой конструкции [1]. Представлен расчет бака и соединительного отсека методом конечных элементов в нелинейной постановке, приведены результаты испытаний |
В 92 Выбор пластификатора для фенольно-каучукового пенопласта / А. И. Саматадзе, И. В. Парахин, Н. Ф. Поросова, А. С. Туманов // Композиты и наноструктуры. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 117-124 : граф., табл. - Библиогр.: с. 123 (16 назв.) . - ISSN 1999-7590 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФЕНОПЛАСТ -- ПЕНА -- ТЕХНОЛОГИЯ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ -- ПЛАСТИЧНОСТЬ -- УДАРНАЯ ВЯЗКОСТЬ -- ПЛАСТИФИКАТОР Аннотация: В работе исследуется влияние различных типов широко известных пластификаторов на технологические и эксплуатационные свойства фенольно-каучукового пенопласта (ФК). Изучается изменение свойств и структуры пенопласта в зависимости от выбранного модификатора. Показано, что добавка 3 - 5 масс. частей на 100 масс. частей смолы пластификатора полиэфирного типа в фенольнокаучуковую смесь приводит к получению «безусадочных» эластичных композиций пенопласта |