Т 38 Технология формирования интегральной микрофлюидной КМОП-системы с нанопроволочными чувствительными элементами / О. В. Чуйко, Е. В. Кузнецов, М. И. Савельев, Н. В. Комарова, М. С. Сироткина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 23-25. - Библиогр.: с. 25 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИОННО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР -- КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- МИКРОФЛЮИДНАЯ СИСТЕМА -- СИСТЕМА "LAB ON CHIP" -- КОРПУСИРОВАНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ Аннотация: Представлен технологический маршрут изготовления микросистемы, объединяющей в себе интегральное изготовление нанопроволочного ISFET-биосенсора, совмещенного с КМОП-технологией, и микрофлюидной системы на этапе корпусирования и герметизации ИС |