Г 83 Гридчин, В. А. Калибровка термопар сенсора плотности теплового потока / В. А. Гридчин, О. В. Лобач // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 22-25 : рис. - Библиогр.: с. 25 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОТОК ТЕПЛОВОЙ -- СЕНСОР -- КАЛИБРОВКА -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ -- ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ Аннотация: Рассматривается калибровка термопар сенсора плотности теплового потока, содержащего профилированную кремниевую мембрану и термопары алюминий- поликремний, с помощью двух интегральных разогревающих резисторов, асимметрично расположенных относительно калибруемой термопары либо батареи термопар. Показана возможность определения линейного и квадратичного коэффициентов термоЭДС термопары и оценена эффективность предложенной конечно-элементной модели температурного поля чипа сенсора |
К 17 Калибровка просвечивающих электронных микроскопов с помощью ГСО 10030—2011 / Д. С. Бодунов, А. В. Заблоцкий, В. П. Гавриленко, А. А. Кузин, А. Ю. Кузин, В. Б. Митюхляев, А. В. Раков, П. А. Тодуа, М. Н. Филиппов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 11-13 : рис. - Библиогр.: с. 13 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОП ПРОСВЕЧИВАЮЩИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ jem-2100 -- КАЛИБРОВКА -- ОБРАЗЕЦ СТАНДАРТНЫЙ -- НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ ИЗМЕРЕНИЙ ПРИ КАЛИБРОВКЕ Аннотация: Изложены результаты калибровки просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100 с помощью стандартного образца ГСО 10030—2011, разработанного и изготовленного в Научно-исследовательском центре по изучению свойств поверхности и вакуума, при номинальном значении увеличения 30 000 крат. Относительная расширенная (коэффициент охвата k = 2) неопределенность измерений при калибровке составила 0,5 % |
П 78 Проблемы метрологического обеспечения методики измерений структуры твердых образцов на атомно-силовом микроскопе с нанометровым разрешением / С. С. Гоц, Р. З. Бахтизин, Г. И. Журавлев, С. А. Севницкий // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 60-63 : рис. - Библиогр.: с. 63 (15 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Дескрипторы: ДИФРАКТОМЕТРЫ -- МИКРОСКОП АТОМНО-СИЛОВОЙ -- РАЗРЕШЕНИЕ НАНОМЕТРОВОЕ -- ИНТЕРФЕРОМЕТРЫ ОПТИЧЕСКИЕ -- НАНОМЕТР -- КАЛИБРОВКА Аннотация: Рассмотрены проблемы метрологического обеспечения при создании методики измерения структуры твердых тел с нанометровым разрешением. Показано, что для калибровки атомно-силовых микроскопов в настоящее время используются эталонные меры длины, созданные на основе волновых методов. Применяемые в настоящее время оптические интерферометры, рентгеновские дифрактометры и другие волновые методы пока не способны обеспечить получение эталонных мер длины в 1 нм и менее. В связи с этим имеющиеся литературные данные о межатомных расстояниях твердых тел пока нельзя рассматривать как точные численные оценки истинных значений |