З-63 Зинченко, С. П. Оптический in situ контроль синтеза наноразмерных пленок цирконата титаната свинца в камере газового разряда / С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 5-6 . - С. 77-80 : рис. - Библиогр. : с. 80 (8 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОНТРОЛЬ ОПТИЧЕСКИЙ IN SITU -- ПЛЕНКИ НАНОРАЗМЕРНЫЕ -- КАМЕРА ГАЗОВОГО РАЗРЯДА Аннотация: В работе приводятся результаты применения оптического in-situ контроля физического состояния напыляемых газоразрядным способом пленок цирконата титаната свинца Pb(ZrxTi1-х)O3 (ЦТС) на подложке из нержавеющей стали. Обнаружена осцилляторно-затухающая в процессе напыления зависимость интенсивности оптического излучения, отраженного от пленки на подложке. Кривая в значительной мере зависит от вводимой в разряд мощности и от типа получаемой пленки. Структура пленок исследовалась методом рентгеноструктурного анализа. На начальном этапе напыления формируется буферный переходной слой ЦТС со структурой пирохлора, который присутствует в неизменном виде в процессе дальнейшего напыления ЦТС пленки со структурой перовскита. Предложенный метод позволяет в текущем режиме не только контролировать оптические характеристики синтезируемого материала, но и определять направление процесса синтеза пленок |