М 91 Мустафаев, Г. А. Разработка процесса формирования глубокой изоляции структур кремний на изоляторе [Текст] / Г. А. Мустафаев, А. Г. Мустафаев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 30-32 : рис. - Библиогр.: с. 32 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КАНАВКА -- ТРАВЛЕНИЕ |