А 19 Аверин, И. А. Анализ влияния направленного легирования газочувствительного диоксида олова на формы и концентрацию адсорбированного кислорода / И. А. Аверин, В. А. Мошников, И. А. Пронин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 8. - С. 31-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- КИСЛОРОД АДСОРБИРОВАННЫЙ -- МАТЕРИАЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ -- ДИОКСИД ОЛОВА -- СЕНСОР ГАЗОВЫй -- СИЛА ЛЬЮИСОВСКАЯ Аннотация: Проведен анализ температурной зависимости концентраций и форм кислорода на нелегированном и легированном полупроводниковом диоксиде олова. Выяснено, что основными формами кислорода при температурах функционирования большинства газовых сенсоров являются О - и О 2-. При легировании материнского оксида ионами, чья льюисовская сила больше, происходит рост концентраций всех форм поверхностного кислорода. Однако во всех случаях основной вклад в газочувствительность полупроводниковых материалов вносит их дефектность |