Л 88 Лысенко, И. Е. Устройства обработки сигналов емкостных преобразователей микромеханических компонентов / И. Е. Лысенко, Е. А. Рындин, Н. К. Дудин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 48-51 : рис. - Библиогр.: с. 51 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ -- КОМПОНЕНТЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-ЧАСТОТА Аннотация: Предложен метод построения устройств обработки сигналов емкостных преобразователей микромеханических компонентов. Описаны результаты моделирования и экспериментального исследования устройств |