М 92 Мухуров, Н. И. Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 1. деформированный якорь / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 47-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОРЕЛЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- ДЕФОРМИРОВАНИЕ УПРУГИХ ЭЛЕМЕНТОВ -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ И ОБЪЕМНАЯ Аннотация: Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования упругих подвижных элементов. Исследованы варианты с упругодеформированным якорем в объемном и планарном конструктивном исполнении. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций |