М 35 Матюшкин, И. В. Методика компарации способов коррекции оптических эффектов баизости при формировании топоаогии на фоторезисте / И. В. Матюшкин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12. - С. 5-10 : рис. - Библиогр. : с.10 (5 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОПОЛОГИЯ -- КОРРЕКЦИЯ ОПТИЧЕСКИХ ЭФФЕКТОВ БЛИЗОСТИ -- ФОТОРЕЗИСТОР Аннотация: На основе САПР Synoрsys и MATLAB разработана методика компарации ОРС-методов. Дана математическая формулировка процедуры компарации, связанная с контурными метриками и учитывающая интерактивно-графический характер компаратора. Предложен метод базовой матрицы доведения компарации |