Н 16 Нагель, М. Ю. Моделирование образования развитого рельефа осаждаемых пленок / М. Ю. Нагель, Ю. В. Мартыненко // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 72-77 : рис. - Библиогр.: с. 77 (13 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ -- МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО -- УСТАНОВКИ ТЕРМОЯДЕРНОГО СИНТЕЗА -- НАНОРЕЛЬЕФ ОСАЖДАЕМЫХ ПЛЕНОК -- ТЕМПЕРАТУРА -- КОЭФФИЦИЕНТ ДИФФУЗИИ ПО ПОВЕРХНОСТИ -- НАНОРЕЛЬЕФ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ Аннотация: Методом Монте-Карло моделировался процесс роста пленок в результате объединения одиночных атомов, осаждаемых на подложку и участвующих в процессе диффузии по поверхности пленки, с использованием разработанного численного кода. При моделировании получены структуры типа столбов, «цветной капусты», аналогичные объектам, образующимся при создании технологических покрытий для специальных целей, а также в установках термоядерного синтеза. Выяснено, при каких значениях параметров, характеризующих процесс осаждения (поток атомов, содержание атомов примеси) и свойства подложки (температура, коэффициент диффузии по поверхности), возможно образование каждого типа нанорельефа осаждаемых пленок |