Т 33 Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран / Н. С. Землянников, Н. Л. Данилова, В. В. Панков, В. С. Суханов, Ю. А. Михайлов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 32-36 : рис., табл. - Библиогр.: с. 36 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНЫ КРЕМНИЕВЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЕ -- КРИСТАЛЛ ЧЭ ДАВЛЕНИЯ -- МОДУЛЬ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ДАВЛЕНИЯ (ЧЭД) Аннотация: Приведены результаты исследования тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по микроэлектронной технологии на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран со встроенной защитой от перегрузки. Показаны преимущества разработанных преобразователей давления в сравнении с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром |