Т 38 Технологии формирования и применение нанослоев и нанопористых композиций Аl 2О 3 для микро-и нанотехники / Т. М. Зимина, Е. Н. Муратова, Ю. М. Спивак, В. Е. Дрозд, А. А. Романов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 15-24 : рис., табл. - Библиогр.: с. 24 (52 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БИОСЕНСОРЫ -- ЛАБОРАТОРИИ НА ЧИПЕ -- АНОДИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКРЕ -- СБОРКА АТОМНО-МОЛЕКУЛЯРНАЯ ХИМИЧЕСКАЯ -- НАНОСЛОИ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ -- ОКСИД АЛЮМИНИЯ ПОРИСТЫЙ Аннотация: Рассмотрены основные технологические подходы формирования нанослоев и композиций с различными характеристиками на основе оксида алюминия, а именно, атомно-молекулярное наслаивание и электрохимическое травление. Приведен краткий обзор основных современных областей применения оксида алюминия в форме нанослоевых композиций, нанопористых композиций, модифицированных металлом, и макропористых систем |