С 17 Самосборка микро- и наноструктур при двухстадийном их нанесении методом центрифугирования / П. В. Лебедев-Степанов [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 66-71 : ил. - Библиогр. : с. 71 (5 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СТРУКТУРИРОВАННЫЕ ПЛЕНКИ -- ЛАЗЕРНАЯ ЛИТОГРАФИЯ |
Х 46 Химическое паттернирование пленок Ленгмюра-Блоджетт методом мягкой гелевой литографии / А. А. Еленский [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 5-6. - С. 66-71 : рис. - Библиогр. : с. 71 (29 назв.) . - ISSN 1195-078 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ЛЕНГМЮР-БЛОДЖЕТТ -- ПАТТЕРНИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ |
А 28 Адамов, Д. Ю. Нанопроводникии для наноэлектроники / Д. Ю. Адамов, Ю. Ф. Адамов, Н. М. Горшкова // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 9-14 : рис. - Библиогр. : с. 14 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ЭЛЕКТРОТЕХНИКА Кл.слова (ненормированные): НАНОПРОВОДНИК -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОТРУБКА УГЛЕРОДНАЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПЛАНАРНАЯ -- НАНОПРОВОДНИК ГЕТЕРОСТРУКТУРНЫЙ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОПРОВОДНИКОВ |
Б 86 Бокарев, В. П. Применение контактной литографии в процессах переноса субмикрометрового изображения при изготовлении мэмс и пав-устройств / В. П. Бокарев, Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 23-27 : табл., рис. - Библиогр. : с. 27 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЛИТОГРАФИЯ КОНТАКТНАЯ -- МЭМС -- ПАВ-УСТРОЙСТВА Аннотация: Рассмотрены вопросы применимости контактной, проекционной и импринт литографии при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств с субмикрометровыми проектными нормами |
К 89 Кузьмин, А. А. Технология изготовления интегральных сверхпроводниковых болометров терагерцового диапазона частот / А. А. Кузьмин, А. Г. Коваленко, С. А. Ковтонюк // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 16-21 : рис. - Библиогр. : с. 21 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БОЛОМЕТРЫ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫЕ -- ДИАПАЗОН ДЛИН ВОЛН (ЧАСТОТ) -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ Аннотация: Предложена технология изготовления сверхпроводниковых тонкопленочных болометров, включенных в планарную двухщелевую антенну на частоты от 0,2 до 0,3 ТГц. Такие интегральные болометры полностью были изготовлены с помощью электронно-лучевой литографии с применением органических масок из ПММА и его соnолимеров. В качестве термометра и абсорбера излучения были использованы микроструктуры из тонкопленочного сверхпроводника - титановые мостики, полученные методом магнетронного напыления и "lift-off методики. Такая микроструктура имела критическую температуру перехода Тк около 0,35 К и являлась сенсором на краю перехода (СКП). Антенна и подводящие линии были выполнены из ниобия |
Ф 79 Формирование суперкластеров нанооксидов титана под острием сканирующего туннельного микроскопа / М. В. Гришин, С. А. Ковалевский, Ф. И. Далидчик, А. К. Гатин // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 51-53 : рис. - Библиогр. : с. 53 (10 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОП ТУННЕЛЬНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ -- СУПЕРКЛАСТЕРЫ ОКСИДНЫЕ -- ЛИТОГРАФИЯ ЗОНДОВАЯ Аннотация: В высоковакуумных экспериментах (Р = 5*10-10 мбар) под острием сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) на поверхности окисленного титана обнаружено формирование оксидных суперкластеров с размерами до нескольких десятков нанометров. Установлены зависимости размеров нанокластеров от основных параметров сканирования (величины, полярности и длительности импульсов напряжения, подававшихся на наноконтакт). Показано, что рост оксидных суперкластеров возможен как при положительных, так и при отрицательных значениях полярности. Полученные результаты, расширяющие возможности современной зондовой литографии, - первый пример формирования в условиях сверхвысокого вакуума на поверхности окисленных металлов наноразмерных оксидных структур |
623 С 74 Справочник Шпрингера по нанотехнологиям [Текст] : в 3 т. / Моск. гос. ин-т электронной техники, Научно-производств. комплекс "Технол. центр"; под ред. Б. Бхушана ; пер. с англ. А. Н. Саурова. - М. : Техносфера, 2010 - . - (Мир материалов и технологий). Т. 1. - 2010. - 862 с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-94836-262-5 : 900.00 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ--СПРАВОЧНИКИ ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА |
623 С 74 Справочник Шпрингера по нанотехнологиям [Текст] : в 3 т. / Моск. гос. ин-т электронной техники, Научно-производств. комплекс "Технол. центр"; под ред. Б. Бхушана ; пер. с англ. А. Н. Саурова. - М. : Техносфера, 2010 - . - (Мир материалов и технологий). Т. 2. - 2010. - 1039 с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-94836-263-2 : 1200.00 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ--СПРАВОЧНИКИ ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА |
623 С 74 Справочник Шпрингера по нанотехнологиям [Текст] : в 3 т. / Моск. гос. ин-т электронной техники, Научно-производств. комплекс "Технол. центр"; под ред. Б. Бхушана ; пер. с англ. А. Н. Саурова. - М. : Техносфера, 2010 - . - (Мир материалов и технологий). Т. 3. - 2010. - 831 с. - Библиогр. в конце разд. - Указ.: с. 807-831. - ISBN 978-5-94836-264-9 : 900.00 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ--СПРАВОЧНИКИ ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА |
Пр 68-1/19 Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование [] : сборник научных трудов / Физико-технологический ин-т РАН ; отв. ред. В. Ф. Лукичев. - М. : Наука, 2008. - 246, [1] с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 19). - Загл. на обороте тит. л. : Quantum computers, micro- and nanoelectronics. - Библиогр. в конце ст. - Посвящ. 70-летию со дня рождения действительного члена РАН А. А. Орликовского. - Б. ц.
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА--СБОРНИКИ |
И 35 Изготовление МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом / П. Е. Троян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 31-32 : рис. - Библиогр. : с. 32 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МДМ-КАТОДЫ -- НАНООСТРИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ -- ВАХ -- ШАБЛОН ТЕМПЛЕЙТНЫЙ Аннотация: Предложены методы формирования наноострий на нижнем электроде МДМ-катода с помощью электронно-лучевой литографии и темплейтного шаблона. Получены структуры с наноостриями в виде пирамид и столбиков с плотностью 2-108 см-2. Для МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом установлено возрастание эмиссионного тока на порядок по сравнению с катодом с гладким электродом |