Б 86 Бокарев, В. П. Применение контактной литографии в процессах переноса субмикрометрового изображения при изготовлении мэмс и пав-устройств / В. П. Бокарев, Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 23-27 : табл., рис. - Библиогр. : с. 27 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЛИТОГРАФИЯ КОНТАКТНАЯ -- МЭМС -- ПАВ-УСТРОЙСТВА Аннотация: Рассмотрены вопросы применимости контактной, проекционной и импринт литографии при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств с субмикрометровыми проектными нормами |