Ф 34 Федотов, А. Многофункциональные нанокомпозитные покрытия [Текст] / А. Федотов, Ю. Агабеков, В. Мачикин // Наноиндустрия. - 2008. - № 1. - С. 24 - 27 : рис. -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УПРОЧНЯЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ -- РЕЖУЩИЙ ИНСТРУМЕНТ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ |
Н 25 Наноструктурированные пленки ZnO в зеркалах и датчиках УФ излучения [Текст] / А. Ф. Белянин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 9-14 : рис., табл., фото. - Библиогр.: с. 14 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ZnO -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- УСТРОЙСТВА МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОПТИКИ Аннотация: Рассмотрены условия получения пленок ZnO методом магнетронного ВЧ распыления с применением дополнительной магнитной системы, помещенной за подложкодержателем. Изучено влияние строения пленок ZnO на эксплуатационные характеристики чувствительных элементов датчиков УФ излучения и зеркал УФ диапазона |