А 64 Анализ концепций построения твердотельных микрогироскопов на поверхностных акустических волнах / Д. П. Лукьянов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 24-28 : рис. - Библиогр. : с. 28 (26 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВОЛНА ПОВЕРХНОСТНАЯ АКУСТИЧЕСКАЯ -- МЭМС -- ГИРОСКОП ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- МАССА ИНЕРЦИОННАЯ Аннотация: Рассматриваются концепции построения твердотельных микромеханических гироскопов (ТМГ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Приводится сопоставительный анализ схемно-технических решений, результатов экспериментальных исследований и достигнутых точностных характеристик. Даются оценки времени готовности ТМГ и анализируются направления дальнейшего развития виброустойчивых и ударопрочных твердотельных сенсоров на ПАВ |
Ч-87 Чуйко, О. В. Динамические характеристики чувствительного элемента микроакселерометра с повышенным фактором демпфирования / О. В. Чуйко, А. Е. Кузнецов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 38-40 : рис., табл. - Библиогр. : с. 40 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР МАЯТНИКОВЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- МАССА ИНЕРЦИОННАЯ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- ДОБРОТНОСТЬ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ ВОЗДУШНОЕ Аннотация: Исследуются динамические характеристики чувствительного элемента (ЧЭ) заданной конструкции, обеспечивающей повышенное воздушное сопротивление. Возбуждение колебаний инерционной массы (ИМ) осуществляется с помощью пьезоэлемента, регистрация колебаний выполняется по отклонению лазерного луча от поверхности ИМ. Получены зависимости резонансной частоты и добротности ЧЭ от давления воздуха в диапазоне от 1 до 105 Па, а также зависимость добротности от размера воздушного зазора между ИМ и подложкой |