И 26 Игнатьева, Е. В. О проектировании мембраны с жестким центром кристаллов кремниевых тензопреобразователей на давления от 0,025 до 25 МПа / Е. В. Игнатьева, Ю. А. Михайлов, С. П. Тимошенков // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 24-31 : рис., табл. - Библиогр. : с. 31 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫЙ -- КРИСТАЛЛ ИПД -- МЕМБРАНА С ЖЕСТКИМ ЦЕНТРОМ Аннотация: Представлена методика проектирования мембраны с жестким центром кремниевых тензопреобразователей давления. Показано, что при заданных изменениях выходного напряжения и нелинейности менее 0,2 % диапазон давлений 0,025...25 МПа реализуем на кристалле 4 x 4 мм при использовании мембран двух размеров, имеющих прямоугольный жесткий центр |