К 65 Конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей / В. В. Амеличев, С. С. Генералов, А. В. Якухина, С. В. Шаманаев, В. В. Платонов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 28-32. - Библиогр.: с. 32 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ -- МАТРИЦА -- МЭМС-КЛЮЧ -- МЕТАЛЛИЧЕСКАЯ ПЛАТА -- НИЗКООМНЫЕ ЭЛЕКТРОДЫ -- СИЛОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА Аннотация: Представлены конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей. Рассмотрены основные конструктивные и технологические особенности создания кристалла МЭМС-ключа с электростатическим способом управления замыканием контактной группы. Определены перспективы применения матрицы силовых микроэлектромеханических ключей для коммутации постоянного и низкочастотного переменного тока в приборах средней мощности |