Б 43 Белов, А. Н. Формирование наноструктурированного оксида титана методом анодного окисления двухслойных структур алюминий-титан / А. Н. Белов // Нанотехника. - 2010. - № 1. - С. 78-81 : рис. - Библиогр. : с. 81 (8 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ОКСИД ТИТАНА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЙ -- МЕТОД АНОДНОГО ОКИСЛЕНИЯ -- СТРУКТУРЫ ДВУХСЛОЙНЫЕ АЛЮМИНИЙ-ТИТАН Аннотация: В работе рассмотрены особенности процесса формирования слоев пористого оксида титана и плотного оксида титана со столбчатой наноструктурой методом анодного окисления двухслойных структур алюминий-титан, нанесенных на поверхность кремниевых пластин. Обоснованы условия, обеспечивающие воспроизводимое получение наноструктурированного оксида титана |