К 17 Каленов, В. Е. Частотно-резонансный метод измерения механического воздействия с помощью нелинейного микромеханического преобразователя / В. Е. Каленов, А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 15-19 : рис. - Библиогр.: с. 19 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- МЭМС -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ НЕЛИНЕЙНЫЙ -- МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ЧАСТОТНО-РЕЗОНАНСНЫЙ Аннотация: Изложены основные принципы измерения механического воздействия частотно-резонансным методом с помощью нелинейного микромеханического преобразователя. Представлены условия, повышающие чувствительность нелинейного микромеханического преобразователя по перемещению и силе. Рассмотрен пример акселерометра на основе нелинейного преобразователя и проведена оптимизация его параметров |