Г 83 Гридчин, В. А. Влияние термических деформаций на температурную стабильность характеристик кремниевых резонансных сенсоров давления / В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРЫ ДАВЛЕНИЯ РЕЗОНАНСНЫЕ -- ДЕФОРМАЦИЯ ТЕРМИЧЕСКАЯ -- ДИОКСИД КРЕМНИЯ -- МЕТОД КОМПЕНСАЦИИ ТЕРМИЧЕСКИХ ДЕФОРМАЦИЙ -- ТЕМПЕРАТУРА Аннотация: Результаты моделирования тепловых деформаций влияние на частоту, которую были представлены характеристики резонансных давления датчика (РТС). Было показано, сильная зависимость температуры чувствительность частоты резонанса РТС на толщины пленок диоксида кремния, используемых в процессе производства датчиков. Было предложено термо компенсация метод резонансной элемента с фильм диоксида кремния обратной стороне мембраны |