Г 83 Гридчин, В. А. Численное моделирование микроэлектронного сенсора теплового потока / В. А. Гридчин, О. В. Лобач, Р. П. Дикарева // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 13-16 : рис. - Библиогр. : с. 16 ( 12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР -- ПОТОК ТЕПЛОВОЙ -- ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Аннотация: Представлены упрощенная тепловая и конечно-элементная модели микpоэлектpонного сенсора теплового потока, обсуждены особенности констpукции. Определено тепловое сопpотивление и получены выpажения для выходного сигнала сенсоpа. Показано, что численное моделиpование точнее описывает хаpактеpистики по сpавнению с аналитической моделью. Доведено сpавнение модельных pасчетов с экспеpиментальными данными, котоpое подтвеpдило пpавильность моделей. Предложенная численная модель позволяет доводить оптимизацию хаpактеpистик сенсоpа |
М 74 Моделирование датчика вибраций на сдвиговом пьезоэффекте / В. Н. Митько, А. А. Панич [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 17-19 : рис. - Библиогр. : с. 19 (1 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ СДВИГОВЫЙ -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Аннотация: Рассматривается датчик вибраций на сдвиговом пьезоэффекте. В качестве чувствительных элементов датчика используется Y-срез пьезокристаллов лангатата. Методом конечных элементов рассчитывается виброчувствительность датчика |
Б 20 Балансировка резонатора кольцевого микромеханического гироскопа / С. П. Тимошенков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 37-44 : рис., табл. - Библиогр. : с. 44 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕЗОНАТОР КОЛЬЦЕВОЙ -- БАЛАНСИРОВКА РЕЗОНАТОРА -- МИКРОГИРОСКОП -- АНИЗОТРОПИЯ -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Аннотация: Приведены результаты анализа конструкции кольцевого резонатора микрогироскопа с учетом влияния систематических факторов (анизотропия материала и наличие упругого подвеса), сформулированы требования к материалу резонатора, показан способ сведения частот методом удаления массы с моделированием результатов балансировки |
К 64 Конечно-элементное моделирование термомеханических свойств нанопористых материалов / Е. А. Белогуров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 18-24 : рис., табл. - Библиогр. : с. 24 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МАТЕРИАЛЫ НАНОНАПОРИСТЫЕ -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ -- ТЕНЗОР МОДУЛЯ УПРУГОСТИ -- ТЕНЗОР ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ Аннотация: Разработана методика определения тензоров модулей упругости и теплопроводности нанопористых материалов на основе имитационного моделирования стандартных экспериментальных методик методом конечных элементов. Рассчитаны зависимости компонентов указанных тензоров для а-Al2O3 кремния от пористости. В качестве примера применения полученных результатов рассчитано влияние пористости на распределение температуры в структуре химического сенсора на основе a-Al2O3 |
Г 83 Гридчин, В. А. Калибровка термопар сенсора плотности теплового потока / В. А. Гридчин, О. В. Лобач // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 22-25 : рис. - Библиогр.: с. 25 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОТОК ТЕПЛОВОЙ -- СЕНСОР -- КАЛИБРОВКА -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ -- ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ Аннотация: Рассматривается калибровка термопар сенсора плотности теплового потока, содержащего профилированную кремниевую мембрану и термопары алюминий- поликремний, с помощью двух интегральных разогревающих резисторов, асимметрично расположенных относительно калибруемой термопары либо батареи термопар. Показана возможность определения линейного и квадратичного коэффициентов термоЭДС термопары и оценена эффективность предложенной конечно-элементной модели температурного поля чипа сенсора |
Ч-82 Чувствительный элемент кольцевого гироскопа на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е. А. Белогуров, Г. Г. Горох, И. А. Таратын, В. В. Хатько // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 16-19 : рис. - Библиогр.: с. 19 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ОКСИД АЛЮМИНИЯ НАНОПОРИСТЫЙ АНОДНЫЙ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ -- ГИРОСКОП КОЛЬЦЕВОЙ Аннотация: Разработана технология изготовления чувствительного элемента кольцевого гироскопа из нанопористого анодного оксида алюминия. Проведено моделирование основных характеристик кольцевого гироскопа с таким чувствительным элементом. Резонансные частоты для чувствительного элемента представлены в виде функций от пористости и толщины спиц чувствительного элемента. Показано, что полученные выходные характеристики в некоторых случаях превосходят указанные параметры гироскопа с кремниевым чувствительным элементом |
Ч-67 Численное моделирование элементов фотоэлектрического волоконно-оптического сенсора давления / В. А. Гридчин, В. Ю. Васильев, М. А. Чебанов, А. Д. Бялик, А. С. Чернов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 3-7 : граф. - Библиогр.: с. 7 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ОПТОВОЛОКНО -- ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СЕНСОР ДАВЛЕНИЯ -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Аннотация: Представлена численная модель оптомеханического узла фотоэлектрического сенсора давления, состоящего из профилированной кремниевой диафрагмы с жестким центром и оптоволокна. Методом конечно-элементного моделирования исследованы условия максимальной чувствительности по смещению свободного конца оптоволокна под действием давления в зависимости от размеров диафрагмы. Показано, что для достижения максимальной чувствительности по перемещению оптоволокна расположение жесткого центра может быть нецентральным и зависит от размеров диафрагмы. Рассмотрены особенности преобразовательной характеристики при использовании в составе фотоэлектрического сенсора давления одного либо двух фотодиодов в дифференциальном включении |