С 58 Создание металлических нанопроводов методом селективного удаления атомов и исследование их свойств / Б. А. Гурович [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 41-45 : табл., рис. - Библиогр. : с. 45 (15 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПРОВОДА -- МЕТОД СЕЛЕКТИВНОГО УДАЛЕНИЯ АТОМОВ -- ПЛЕНКИ МЕТАЛЛОВ -- ВИСМУТ Аннотация: В работе исследованы электрические свойства пленок металлов, восстановленных из оксидов методом селективного удаления атомов под действием протонного облучения. Установлено, что электрические характеристики восстановленных пленок соответствуют характеристикам осажденных пленок чистых металлов. Продемонстрирована возможность создания нанопроводов в матрице оксида методом облучения через маску из ПММА. Созданы единичные нанопровода, а также пары нанопроводов из висмута. Измерены электрические характеристики как отдельных нанопроводов, так и токи утечки между близко расположенными проводами. Показана возможность создания методом СУА изолированных нанопроводов на расстоянии 70 нм |