К 78 Красников, Г. Я. Отличительные особенности и проблемы КМОП-технологии при уменьшении проектной нормы до уровня 0,18 мкм и меньше [Текст] / Г. Я. Красников, О. М. Орлов // Российские нанотехнологии. - 2008. - Т. 3, № 7-8. - С. 124-128 : рис., табл. - Библиогр. : с. 128 (27 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МЕТОД RET |