623 N 21 Nano and Micromachining [Text] : монография / ed. by J. P. Davim, M. Jackson. - [Hoboken] : Wiley, 2009. - 212 p. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 1-84821-103-2 : 3395.00 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ |
И 74 Информационно-аналитическое обеспечение начальных этапов проектирования микромеханических гироскопов и акселерометров / В. В. Ефимов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 11-18 : рис. - Библиогр. : с. 18 (30 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГИРОСКОП -- МИКРОМЕХАНИКА -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- МОДЕЛИ БАЗОВЫЕ МАТЕМАТИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрено информационно-аналитическое обеспечение процесса проектирования микромеханических гироскопов и акселерометров, включающее классификации, базовые схемы и базовые математические модели. Ключевые слова: микромеханика, гироскоп, акселерометр, проектирование, классификация, базовые конструктивные схемы, базовые математические модели |
И 35 Изготовление микроэлектромеханических устройств на основе технологии формирования изолированных блоков в пластине кремния / О. В. Морозов, А. В. Постников, И. И. Амиров, В. А. Кальнов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 15-18 : рис. - Библиогр.: с. 18 (24 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИКА -- ОКИСЛЕНИЕ КРЕМНИЯ ТЕРМИЧЕСКОЕ -- ПРИВОД ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ГРЕБЕНЧАТЫЙ -- DRIE Аннотация: Представлен новый способ изготовления микроэлектромеханических устройств на основе формирования изолированных блоков SiO2 в пластине Si. Технология изготовления включает процессы двустороннего глубокого анизотропного травления Si и глубокого его окисления для получения изолированных областей SiO2. Применимость предложенного способа показана на примере изготовления микроактюатора с электростатическим гребенчатым приводом |
П 42 Повышение чувствительности микропреобразователя абсолютного давления на основе расчетно-аналитического моделирования изгиба мембраны и положения тензорезисторов / И. Б. Яшанин, И. В. Иевлев, С. В. Кононов, Р. Г. Азнабаев, В. А. Харитонов, Д. В. Бойченко, А. В. Гребенкина // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 7-11 : рис. - Библиогр.: с. 11 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНА -- ТЕНЗОРЕЗИСТОР -- МИКРОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ -- МИКРОМЕХАНИКА -- МСТ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- МОСТ УИНСТОНА -- ТЕНЗОРЕЗИСТОР ПОЛИКРЕМНИЕВЫЙ -- ПОЛИКРЕМНИЕВАЯ МЕМБРАНА -- МПАД Аннотация: Описан опыт использования анализатора микросистем для минимизации несоответствий между расчетными и реально получаемыми значениями чувствительности типового тензорезистивного микропреобразователя абсолютного давления, выполненного на основе базовой технологии поверхностной микромеханики |
М 59 Микродвижители для микроробототехники / В. Е. Калёнов, А. П. Бройко, А. В. Корляков, И. К. Хмельницкий, Д. А. Чигирев, Ю. О. Быков, А. В. Лагош, А. И. Крот // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 41-46. - Библиогр.: с. 46 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИКА -- МИКРОАКТЮАТОРЫ -- МИКРОРОБОТЫ -- ЭЛЕКТРОАКТИВНЫЕ ПОЛИМЕРЫ Аннотация: Представлены результаты анализа основных микромеханических преобразователей запасенной или внешней индуцируемой энергии в механическое перемещение с учетом возможности их применения в микроробототехнике. Проведено сравнение основных характеристик преобразователей: КПД, развиваемых усилий, перемещений, быстродействия. Обсуждаются результаты исследований преобразователей на основе электроактивных полимеров, перспективных для микроробототехники |
Ж3 H 22 Handbook of Micromechanics and Nanomechanics [Text] : учебник / ed. by S. Li, X. -L. Gao. - Singapore : Pan Stanford Publiching, 2013. - 1206, [32] вкл. л. ил. p. - Указ.: с. 1197-1206. - ISBN 978-981-4411-23-3 : 21998.00 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛЫ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ--СПРАВОЧНИКИ Оглавление |