П 54 Поляков, В. В. Метод компенсации паразитной емкости в сканирующей емкостной микроскопии / В. В. Поляков // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 6-10 : рис., табл. - Библиогр. : с. 10 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОПИЯ ЕМКОСТНАЯ -- МИКРОСКОПИЯ ЗОНДОВАЯ -- МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МИКРОСКОП ЗОНДОВЫЙ -- МИКРОСКОП СКАНИРУЮЩИЙ -- КОНЦЕНТРАЦИЯ НОСИТЕЛЕЙ -- ПРОФИЛЬ ЛЕГИРОВАНИЯ |