С 29 Селезнев, В. А. Чипы с полупроводниковыми трубками-зондами для сканирующей туннельной микроскопии / В. А. Селезнев, В. Я. Принц, И. А. // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 5-8 : рис. - Библиогр. : с. 8 (36 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОПИЯ СКАНИРУЮЩАЯ ТУННЕЛЬНАЯ -- ТРУБКИ-ЗОНДЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ -- ГЕТЕРОПЛЕНКИ НАПРЯЖЕННЫЕ Аннотация: Описан метод массового изготовления чипов с трубчатыми зондами для сканирующей туннельной микроскопии из гетероструктур InP/InxGa1- xAs/InyGaj-yAs. Технология базируется на методах самосворачивания тонких напряженных гетеропленок в трубки, анизотропном и селективном травлении подложки InP и методах, используемых в технологии изготовления интегральных схем. Впервые изготовлены микротрубки из гетеропленок InxGa 1-xAs/InyGa 1-yAs с использованием селективного анизотропного травления подложки InP. Созданные чипы с полупроводниковыми трубками-зондами перспективны для применений в высоковакуумной сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии, спиновой туннельной микроскопии и микроскопии ближнего поля |