Д 39 Деформационно-прочностные свойства модифицированных полиимид-кремниевых упруго-шарнирных микроструктур / П. Г. Бабаевский, А. А. Жуков , А. С. Корпухин, Г. М. Резниченко // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7. - С. 15-18 : рис., табл. - Библиогр. : с.18 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИИМИД -- КРЕМНИЙ -- МИКРОСТРУКТУРА УПРУГО-ШАРНИРНАЯ Аннотация: Исследованы деформационно-прочностные свойства растяжении полиимидно-кремниевых трапециевидных упруго-шарнирных микроструктур, модифицированных армированием в нижней части полиимидного слоя функционализированными одностенными углеродными трубками и нанесением на поверхность кремния тонких слоев кремнийорганического соединения, алюминия и системы ванадий-никель. Показано, что армирование полиимида введением нанотрубок во всех случаях повышает деформационно-прочностные характеристики микроструктур |