Д 69 Дорошевич, В. К. Методы статистического контроля процесса изготовления микросхем и порядок их применения [Текст] / В. К. Дорошевич // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 13-14. - Библиогр.: с. 14 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС -- СТАТИСТИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС -- МИКРОСХЕМА |
Д 69 Дорошевич, В. К. Рекомендации к построению и содержанию нормативной документации предприятий по статистическому контролю и регулированию технологических процессов микросхем [Текст] / В. К. Дорошевич // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 21-22. - Библиогр.: с. 22 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НОРМАТИВНАЯ ДОКУМЕНТАЦИЯ -- СТАТИСТИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ И РЕГУЛИРОВАНИЕ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС -- МИКРОСХЕМА |
А 13 Абдуллаев, Д. А. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния относительно оксида кремния / Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 17-19. - Библиогр.: с. 17 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ (ПХТ) -- СЕЛЕКТИВНОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- ОКСИД КРЕМНИЯ -- ПАССИВАЦИОННЫЕ СЛОИ -- ИНТЕГРАЛЬНАЯ МИКРОСХЕМА (ИМС) Аннотация: Представлены результаты серии экспериментов по определению параметров селективного плазмохимического травления нитрида кремния относительно оксида кремния |
А 13 Абдуллаев, Д. А. Изменение набора применяемых материалов при уменьшении топологических норм производства интегральных микросхем / Д. А. Абдуллаев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 32-38 : рис., граф. - Библиогр.: с. 37 (23 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНАЯ МИКРОСХЕМА (ИМС) -- ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ НОРМЫ -- МЕДНЫЕ МЕЖСОЕДИНЕНИЯ -- LOW-K ДИЭЛЕКТРИКИ -- HIGH-K ДИЭЛЕКТРИКИ -- АЛЮМИНИЕВЫЕ МЕЖСОЕДИНЕНИЯ Аннотация: Описывается, как изменяется набор используемых материалов в производстве интегральных микросхем при переходе от топологических норм 180 нм к топологических нормам 32 и 22 нм |
И 73 Интегральная микросхема драйвера "мягкой" коммутации силовых ключей для мощных источников электропитания / А. А. Антонов, М. С. Карпович, И. В. Пичугин, А. А. Курленко, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 37-42 : рис., граф. - Библиогр.: с. 42 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИСТОЧНИКИ ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ -- "МЯГКАЯ" КОММУТАЦИЯ СИЛОВЫХ КЛЮЧЕЙ Аннотация: Представлены результаты макетирования, моделирования и конструирования топологии тестовой интегральной микросхемы драйвера "мягкой" коммутации силовых ключей Zero Voltage Switch, предназначенной для применения в мощных высокоэффективных источниках вторичного электропитания |
Ф 33 Федоров, Р. А. Микросхема управления модулем радиационной защиты / Р. А. Федоров // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 46-47 : граф. - Библиогр.: с. 47 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТИРИСТОРНЫЙ ЭФФЕКТ -- РАДИАЦИОННАЯ СТОЙКОСТЬ -- МИКРОСХЕМА ЗАЩИТЫ Аннотация: Рассмотрена проблема радиационной стойкости интегральных схем в космической аппаратуре и необходимость ее защиты. Предложен вариант использования микромодуля, отслеживающего начало тиристорного эффекта. Описана специализированая микросхема управления микромодулем и ее особенности |