А 92 Атапин, В. Э. Метод и устройство для регистрации акустических волн / В. Э. Атапин, С. С. Байков, И. В. Кузьмина // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 52-54 : рис. - Библиогр.: с. 54 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГЕОФОН -- МИКРОФОН -- ИНТЕРФЕРОМЕТР ТРЕХЗЕРКАЛЬНЫЙ -- ВОЗБУЖДЕНИЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКИЕ -- КОЛЕБАНИЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКИЕ -- КОЛЕБАНИЯ ИЗГИБНЫЕ -- КОЛЕБАНИЯ ПРОДОЛЬНЫЕ Аннотация: Разработан метод регистрации акустических волн с помощью параметрических колебаний пластины. Рассмотрено практическое устройство регистрации акустических волн ультразвукового диапазона |
И 73 Интегральный конденсаторный преобразователь акустического давления для миниатюрного мэмс-микрофона / И. В. Годовицын, С. С. Генералов, С. А. Поломошников, П. А. Сывороткин, В. В. Амеличе // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 43-50. - Библиогр.: с. 50 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС-МИКРОФОН -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ АКУСТИЧЕСКОГО ДАВЛЕНИЯ -- МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ Аннотация: Статья посвящена разработке конструкции конденсаторного преобразователя акустического сигнала для МЭМС-микрофона. Структура преобразователя включает подвижную, чувствительную к акустическому давлению мембрану и неподвижную сигнальную пластину, сформированные из слоев осажденного поликремния. Особенное внимание уделено снижению механических напряжений в мембране и сигнальной пластине. Полость в кремниевой подложке, выполняющая функцию источника опорного давления, сформирована с использованием жидкостного анизотропного травления. Изготовлены экспериментальные образцы преобразователя и проведена оценка чувствительности, которая составила 4,5...5,0 мВ/Па, что соответствует значению -46 дБ, рассчитанному относительно чувствительности 1 В/Па. Проведена запись звука с помощью стандартной программы звукозаписи, входящей в комплект Windows. Субъективная оценка записи позволяет сказать, что преобразователь обладает высоким качеством передачи звука |