Ч-82 Чувствительный элемент кольцевого гироскопа на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е. А. Белогуров, Г. Г. Горох, И. А. Таратын, В. В. Хатько // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 16-19 : рис. - Библиогр.: с. 19 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ОКСИД АЛЮМИНИЯ НАНОПОРИСТЫЙ АНОДНЫЙ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ -- ГИРОСКОП КОЛЬЦЕВОЙ Аннотация: Разработана технология изготовления чувствительного элемента кольцевого гироскопа из нанопористого анодного оксида алюминия. Проведено моделирование основных характеристик кольцевого гироскопа с таким чувствительным элементом. Резонансные частоты для чувствительного элемента представлены в виде функций от пористости и толщины спиц чувствительного элемента. Показано, что полученные выходные характеристики в некоторых случаях превосходят указанные параметры гироскопа с кремниевым чувствительным элементом |