С 51 Смолин, В. К. Использование жидкого азота в процессах формирования элементов микроэлектронных структур / В. К. Смолин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 34-36. - Библиогр. : с. 36 (19 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ОБРАБОТКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ -- МОДИФИКАЦИЯ МАТЕРИАЛОВ -- ГЕТЕРОСТРУКТУРА Аннотация: ?? ?? Рассмотрены вопросы, связанные с применением низкотемпературной обработки в технологических процессах формирования элементов микроэлектронных структур. Показана эффективность обработки в жидком азоте при циклическом воздействии ?? |