В 19 Васильев , В. А. Диффузионная модель роста и морфология поверхностей тонких пленок материалов / В. А. Васильев , П. С. Чернов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 11-16 : рис. - Библиогр. : с. 16 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ -- АВТОМАТ КЛЕТОЧНЫЙ СТОХАСТИЧЕСКИЙ Аннотация: Дан обзор моделей роста поверхностей материалов. Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и учитывающая диффузию частиц. Она позволяет исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Представлены результаты сравнения экспериментальных данных, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии, и теоретических, полученных путем моделирования с использованием предложенной диффузионной модели |