П 42 Повышение чувствительности микропреобразователя абсолютного давления на основе расчетно-аналитического моделирования изгиба мембраны и положения тензорезисторов / И. Б. Яшанин, И. В. Иевлев, С. В. Кононов, Р. Г. Азнабаев, В. А. Харитонов, Д. В. Бойченко, А. В. Гребенкина // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 7-11 : рис. - Библиогр.: с. 11 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНА -- ТЕНЗОРЕЗИСТОР -- МИКРОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ -- МИКРОМЕХАНИКА -- МСТ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- МОСТ УИНСТОНА -- ТЕНЗОРЕЗИСТОР ПОЛИКРЕМНИЕВЫЙ -- ПОЛИКРЕМНИЕВАЯ МЕМБРАНА -- МПАД Аннотация: Описан опыт использования анализатора микросистем для минимизации несоответствий между расчетными и реально получаемыми значениями чувствительности типового тензорезистивного микропреобразователя абсолютного давления, выполненного на основе базовой технологии поверхностной микромеханики |